真空規(guī)管工作狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),該系統(tǒng)包括為真空管規(guī)管提供工作電壓的真空規(guī)管驅(qū)動(dòng)電路,用于監(jiān)測(cè)所述真空規(guī)管驅(qū)動(dòng)電路電位變化并輸出高低電平的驅(qū)動(dòng)電壓監(jiān)測(cè)電路和數(shù)據(jù)處理器,所述數(shù)據(jù)處理器用于根據(jù)所述驅(qū)動(dòng)電壓監(jiān)測(cè)電路監(jiān)測(cè)到的數(shù)據(jù)控制真空計(jì)的開啟,關(guān)閉.本發(fā)明通過(guò)對(duì)真空規(guī)管的監(jiān)控,并根據(jù)監(jiān)控結(jié)果控制真空計(jì)的開啟,關(guān)閉,避免了因真空規(guī)管損壞后導(dǎo)致真空計(jì)不能自動(dòng)關(guān)閉而輸出錯(cuò)誤信號(hào)。石英薄膜片真空規(guī)管.一種石英薄膜片真空規(guī)管,包括:外殼,所述外殼包括上蓋實(shí)體和底座;薄膜片,所述薄膜片將所述外殼內(nèi)部空間分為真空空間和被測(cè)空間;所述薄膜片表面鍍有一層鍍金;陶瓷極板,所述陶瓷極板固定設(shè)置在所述真空空間內(nèi),所述陶瓷極板與...
全新的真空規(guī)管有沒有可能是壞的?裝上后面板上顯示的真空度一直在跳動(dòng),是什么原因?是不是真空規(guī)管壞了呢?真空度一直變化不表示真空規(guī)管壞了,但也不排除壞的可能。可以采取以下措施: 1、重新?lián)Q一個(gè)性能正常真空規(guī)管,如果仍出現(xiàn)真空度不穩(wěn)的情況,那么就可以排除被換掉的新真空規(guī)管壞的可能。 2、重新安裝真空規(guī)管及線路包括顯示板,排查是否是接觸的問題。 3、在不通入氣體的情況下,采用機(jī)械泵抽真空,觀察壓強(qiáng)變化是不是正常。 4、加地線防干涉。 如果排查下來(lái)不是真空規(guī)管壞了,那么有可能是以下原因引發(fā)的: 1、 真空規(guī)管接觸線路到顯示線路這一段可能接觸不穩(wěn)定。 2、 腔室壓強(qiáng)不穩(wěn)定。 3、 可能是其他元?dú)饧?duì)顯示...
小型化復(fù)合真空規(guī)管,包括陶瓷小七腳管基,BA規(guī)和電阻規(guī),所述BA規(guī)焊接在陶瓷小七腳管基的電極引腳上,構(gòu)成真空規(guī)管;所述電阻規(guī)焊接在陶瓷小七腳管基的電極引腳上,構(gòu)成真空規(guī)管。所述小型化復(fù)合真空規(guī)管具有高,低真空測(cè)試范圍,并且壓強(qiáng)測(cè)量范圍寬,性能穩(wěn)定,一致性好,反映時(shí)間快,壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。抽真空時(shí)測(cè)量用的真空規(guī)管的保護(hù)裝置。真空規(guī)管保護(hù)裝置,包括裝置控制盤和真空規(guī)管,裝置控制盤上具有控制開關(guān),裝置控制盤還包括有時(shí)間繼電器,控制開關(guān),時(shí)間繼電器和真空規(guī)管電聯(lián)接。由于采取了以上結(jié)構(gòu),使得這樣的真空規(guī)管保護(hù)裝置具有真空規(guī)管加熱達(dá)到溫度與抽真空程度幾乎同時(shí)達(dá)到的效果,能夠節(jié)約能源,延長(zhǎng)真空規(guī)管的壽命。電阻真...
真空傳感器是工業(yè)實(shí)踐中常用的一種壓力傳感器,其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)自控環(huán)境,涉及石油管道、水利水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自控、航空航天、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、通風(fēng)管道等眾多行業(yè)。真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上,使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻發(fā)生變化,和用電子線路檢測(cè)這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。傳感器:能感受規(guī)定的被測(cè)量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號(hào)的器件或裝置。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。真空規(guī)管測(cè)量出來(lái)的信號(hào)傳輸?shù)秸婵沼?jì)上經(jīng)過(guò)放大處理就可以顯示出被測(cè)真空環(huán)境的真空度。無(wú)錫真空管哪家好真空規(guī)管放氣主要有哪些形式...
靈敏度倍增真空規(guī)管組,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明通過(guò)提供的一種靈敏度倍增真空規(guī)管組采用了至少兩個(gè)真空規(guī)管并聯(lián)在一起,有效的提高了整個(gè)測(cè)量實(shí)施過(guò)程中電容薄膜的大小,提高了整個(gè)真空度的測(cè)量靈敏度。其特征在于:所述真空規(guī)管組至少包括兩個(gè)真空規(guī)管,所述至少兩個(gè)真空規(guī)管采用并聯(lián)的方式設(shè)置,其中,所述真空規(guī)管包括:一殼體,所述殼體內(nèi)具有一容置空間;一電容薄膜,所述電容薄膜設(shè)置于所述容置空間內(nèi),并把所述容置空間分為被測(cè)空間和真空空間;一進(jìn)氣口,所述進(jìn)氣口設(shè)置于所述殼體上,且所述被測(cè)空間通過(guò)所述進(jìn)氣口與進(jìn)氣管連通;一固定電極板,所述固定電極板設(shè)置于所述真空空間內(nèi);一電極,所述電極設(shè)置于所述殼體上,且與所述固定...
壓阻式真空傳感器的測(cè)量部件是一個(gè)裝有固態(tài)壓力芯片,該芯片利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng),在特定晶面上,采用集成電路工藝技術(shù)擴(kuò)散成四個(gè)等值電阻,組成一個(gè)惠斯登電橋,使得形變與橋阻變化形成一一對(duì)應(yīng)關(guān)系,當(dāng)壓力變化時(shí),電橋失去平衡,輸出一個(gè)與壓力成正比的電信號(hào),再由感應(yīng)智能芯片進(jìn)行非線性修正和溫度補(bǔ)償,較終輸出與壓力成線性對(duì)應(yīng)關(guān)系的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)。壓阻式真空傳感器的測(cè)量部件是一個(gè)裝有固態(tài)壓力芯片,該芯片利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng),在特定晶面上,采用集成電路工藝技術(shù)擴(kuò)散成四個(gè)等值電阻,組成一個(gè)惠斯登電橋,使得形變與橋阻變化形成一一對(duì)應(yīng)關(guān)系,當(dāng)壓力變化時(shí),電橋失去平衡,輸出一個(gè)與壓力成正比的電信號(hào),再由感應(yīng)智能芯片進(jìn)...
閉式U型管真空計(jì)相反,在真空系統(tǒng)抽氣前,兩端液位差較大;真空系統(tǒng)抽氣過(guò)程中液位差會(huì)不斷降低;當(dāng)兩端液面相對(duì)平衡時(shí),系統(tǒng)內(nèi)壓力為:P=ρgh,閉式U型管真空計(jì)與開式U型管真空計(jì),兩者相比,閉式不受大氣環(huán)境壓力影響,使用相對(duì)方便;而且在測(cè)量時(shí)無(wú)需從大數(shù)值開式,U型管可以做得短些,當(dāng)然相應(yīng)的測(cè)量范圍也要縮小。同時(shí)為了防止待測(cè)系統(tǒng)突然進(jìn)入大氣,封閉端被工作液沖破,在U型管轉(zhuǎn)彎處的某一小段做會(huì)做成狹細(xì)的毛細(xì)管,用來(lái)緩和工作液的移動(dòng)速度。開式U型管真空計(jì)因?yàn)榕c大氣相連,因此隨著真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力降低,液位差逐漸增加,在兩端液體靜壓力達(dá)到平衡時(shí),高度差較大,此時(shí)真空系統(tǒng)內(nèi)的壓力:P=P0-ρgh(其中:P為待...
真空規(guī)管放氣主要有哪些形式?真空規(guī)管放氣對(duì)真空測(cè)量的影響主要有三種形式:熱解吸、電解吸及光解吸。熱解吸是通過(guò)直接或間接熱交換,解除吸附質(zhì)的吸附狀態(tài),使其揮發(fā)或分離。在熱陰極電離真空計(jì)規(guī)管中,高溫?zé)彡帢O本身就是一種氣源。它的高溫?zé)崃枯椛涞狡渌姌O和規(guī)管壁時(shí),會(huì)引起氣體的熱解吸。此外,柵極接收電子、收集極收集離子,也會(huì)因發(fā)熱使氣體解吸。因此為消除這種熱解吸影響,對(duì)真空規(guī)管的電極以及管壁需要進(jìn)行充分的加熱去氣,如烘烤、電子轟擊、高頻加熱、歐姆加熱等。尤其是在超高真空測(cè)量過(guò)程中,必須嚴(yán)格去氣,否則將會(huì)產(chǎn)生明顯的測(cè)量誤差。為消除這種熱解吸影響,對(duì)真空規(guī)管的電極以及管壁需要進(jìn)行充分的加熱去氣。金華真空計(jì)一...
真空規(guī)管工作狀態(tài)監(jiān)測(cè)系統(tǒng),該系統(tǒng)包括為真空管規(guī)管提供工作電壓的真空規(guī)管驅(qū)動(dòng)電路,用于監(jiān)測(cè)所述真空規(guī)管驅(qū)動(dòng)電路電位變化并輸出高低電平的驅(qū)動(dòng)電壓監(jiān)測(cè)電路和數(shù)據(jù)處理器,所述數(shù)據(jù)處理器用于根據(jù)所述驅(qū)動(dòng)電壓監(jiān)測(cè)電路監(jiān)測(cè)到的數(shù)據(jù)控制真空計(jì)的開啟,關(guān)閉.本發(fā)明通過(guò)對(duì)真空規(guī)管的監(jiān)控,并根據(jù)監(jiān)控結(jié)果控制真空計(jì)的開啟,關(guān)閉,避免了因真空規(guī)管損壞后導(dǎo)致真空計(jì)不能自動(dòng)關(guān)閉而輸出錯(cuò)誤信號(hào)。石英薄膜片真空規(guī)管.一種石英薄膜片真空規(guī)管,包括:外殼,所述外殼包括上蓋實(shí)體和底座;薄膜片,所述薄膜片將所述外殼內(nèi)部空間分為真空空間和被測(cè)空間;所述薄膜片表面鍍有一層鍍金;陶瓷極板,所述陶瓷極板固定設(shè)置在所述真空空間內(nèi),所述陶瓷極板與...
真空設(shè)備真空計(jì)的分類及應(yīng)用:結(jié)構(gòu)與工作原理:壓力控制儀通常是由壓力給定單元、真空測(cè)量單元(真空計(jì))、壓力調(diào)節(jié)單元、驅(qū)動(dòng)電路及真空調(diào)節(jié)閥等基本單元組成。它具有手動(dòng)和自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)功能。對(duì)于采用分立元件的壓力控制儀,其給定單元通常是一個(gè)電位器,而壓力調(diào)節(jié)單元通常是具有比例積分( PI)或比例積分微分(PID)運(yùn)算功能的運(yùn)算電路;對(duì)于微機(jī)化的壓力控制儀,其給定單元通常是通過(guò)鍵盤或碼盤進(jìn)行壓力設(shè)定;而壓力調(diào)節(jié)單元和測(cè)量單元合為一體,為一單片機(jī)系統(tǒng),其壓力調(diào)節(jié)功能是利用單片機(jī)系統(tǒng),通過(guò)數(shù)字PID運(yùn)算,實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)。至于驅(qū)動(dòng)電路及真空調(diào)節(jié)閥,同類型的兩種不同電路結(jié)構(gòu)的壓力拄制儀大致相同。熱陰極真空規(guī)管以及熱...
真空規(guī)管放氣主要有哪些形式?真空規(guī)管放氣對(duì)真空測(cè)量的影響主要有三種形式:熱解吸、電解吸及光解吸。熱解吸是通過(guò)直接或間接熱交換,解除吸附質(zhì)的吸附狀態(tài),使其揮發(fā)或分離。在熱陰極電離真空計(jì)規(guī)管中,高溫?zé)彡帢O本身就是一種氣源。它的高溫?zé)崃枯椛涞狡渌姌O和規(guī)管壁時(shí),會(huì)引起氣體的熱解吸。此外,柵極接收電子、收集極收集離子,也會(huì)因發(fā)熱使氣體解吸。因此為消除這種熱解吸影響,對(duì)真空規(guī)管的電極以及管壁需要進(jìn)行充分的加熱去氣,如烘烤、電子轟擊、高頻加熱、歐姆加熱等。尤其是在超高真空測(cè)量過(guò)程中,必須嚴(yán)格去氣,否則將會(huì)產(chǎn)生明顯的測(cè)量誤差。熱偶規(guī):目前國(guó)內(nèi)的熱偶規(guī)主要有51系列,53B/54D等。主要應(yīng)用于低真空測(cè)量。蚌...
壓縮式真空計(jì):其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計(jì)測(cè)量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。熱輻射真空計(jì):利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。電離真空計(jì):利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如:熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。放電管指示器:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般只能作為定性測(cè)量。粘滯真空計(jì):利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。如振...
真空規(guī)管的工作原理:電阻規(guī)管的工作原理:電阻規(guī)管是用一根電阻溫度系數(shù)大的熱絲制成,熱絲構(gòu)成惠斯頓電橋的一臂,經(jīng)穩(wěn)定的電源加熱后,其電阻隨氣體壓力而變,由測(cè)量電阻的變化可得到壓力的變化。按熱絲電阻變化的測(cè)量方法,電阻計(jì)分為定壓式、定流式和定溫式三種(即分別維持熱絲的電壓、電流和溫度不變)。電阻計(jì)的測(cè)量范圍10~1×10-1帕。壓阻規(guī)的工作原理:壓阻規(guī)是用“硅環(huán)膜片”作為金屬?gòu)椥员∧?,硅環(huán)膜片內(nèi)側(cè)為標(biāo)準(zhǔn)壓力10-3帕,外側(cè)為被測(cè)壓力,當(dāng)膜片外側(cè)的壓力變化時(shí),由于硅的壓阻效應(yīng),阻值發(fā)生變化,對(duì)應(yīng)于被測(cè)壓力的電壓信號(hào)輸出壓力顯示值。測(cè)量范圍105~10帕。壓阻規(guī)的靈敏度與被測(cè)氣體種類無(wú)關(guān),線性測(cè)量精度...
放電氣體環(huán)境真空規(guī)管輔助儀器.該儀器包括:兩個(gè)金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的電子和離子屏蔽電極;在兩個(gè)屏蔽電極之間以及一個(gè)屏蔽電極和真空室器壁之間施加兩個(gè)屏蔽電壓,實(shí)現(xiàn)第1級(jí)離子屏蔽和第二級(jí)電子屏蔽;兩個(gè)絕緣支柱和一個(gè)安放于真空室的連接口.該儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低廉,能夠很好地解決電離真空規(guī)管在等離子體環(huán)境中讀數(shù)偏高甚至不能工作的問題,提高其測(cè)量穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度,可以在放電氣體環(huán)境中提供可靠的真空測(cè)量,同時(shí)配合電離真空規(guī)管使用,測(cè)量放電氣體的電離度,規(guī)避了傳統(tǒng)氣體電離度測(cè)量成本高,設(shè)備復(fù)雜的缺點(diǎn),是一種易于在工業(yè)界推廣的氣體電離度監(jiān)測(cè)儀器。真空規(guī)管測(cè)量出來(lái)的信號(hào)傳輸?shù)秸婵沼?jì)上經(jīng)過(guò)放大處理就可以顯示出被測(cè)真空環(huán)境的...
真空規(guī)管,真空規(guī)管就是測(cè)量真空度的傳感器。真空規(guī)管測(cè)量出來(lái)的信號(hào)傳輸?shù)秸婵沼?jì)上經(jīng)過(guò)放大處理就可以顯示出被測(cè)真空環(huán)境的真空度。主要應(yīng)用于真空環(huán)境的真空度測(cè)量領(lǐng)域,如真空鍍膜,太陽(yáng)能集熱管制作,真空冶煉等。熱偶規(guī):目前國(guó)內(nèi)的熱偶規(guī)主要有51系列,53B/54D等。主要應(yīng)用于低真空測(cè)量。皮拉尼系列(電阻規(guī)管):目前國(guó)內(nèi)的電阻規(guī)型號(hào)主要是52T系列。主要以用于粗低真空測(cè)量。真空規(guī)管的工作原理:熱偶規(guī)管的工作原理:熱偶規(guī)管由燈絲F和熱偶絲J點(diǎn)焊構(gòu)成雙金屬絲。燈絲用穩(wěn)定電源加熱,熱電偶產(chǎn)生的電動(dòng)勢(shì)用靈敏毫伏計(jì)指示。隨著氣體壓力的改變,熱導(dǎo)率因溫度而變化。毫伏計(jì)連續(xù)指示相應(yīng)的真空度。“短絲"型熱偶規(guī)管測(cè)量范...
壓縮式真空計(jì):其原理是在U型管的基礎(chǔ)上再應(yīng)用波義耳定律,即將一定量待測(cè)壓力的氣體,經(jīng)過(guò)等溫壓縮使之壓力增加,以便用U型管真空計(jì)測(cè)量,然后用體積和壓力的關(guān)系計(jì)算被測(cè)壓力。熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用低壓下氣體熱傳導(dǎo)與壓力有關(guān)這一原理制成。常用的有電阻真空計(jì)和熱偶真空計(jì)。熱輻射真空計(jì):利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關(guān)原理。電離真空計(jì):利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離,產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如:熱陰極電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和放射性電離真空計(jì)等。放電管指示器:利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關(guān)的性質(zhì)判定真空度,一般只能作為定性測(cè)量。粘滯真空計(jì):利用低壓下氣體與容器壁的動(dòng)量交換即外摩擦原理。如振...
靈敏度倍增真空規(guī)管組,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明通過(guò)提供的一種靈敏度倍增真空規(guī)管組采用了至少兩個(gè)真空規(guī)管并聯(lián)在一起,有效的提高了整個(gè)測(cè)量實(shí)施過(guò)程中電容薄膜的大小,提高了整個(gè)真空度的測(cè)量靈敏度。其特征在于:所述真空規(guī)管組至少包括兩個(gè)真空規(guī)管,所述至少兩個(gè)真空規(guī)管采用并聯(lián)的方式設(shè)置,其中,所述真空規(guī)管包括:一殼體,所述殼體內(nèi)具有一容置空間;一電容薄膜,所述電容薄膜設(shè)置于所述容置空間內(nèi),并把所述容置空間分為被測(cè)空間和真空空間;一進(jìn)氣口,所述進(jìn)氣口設(shè)置于所述殼體上,且所述被測(cè)空間通過(guò)所述進(jìn)氣口與進(jìn)氣管連通;一固定電極板,所述固定電極板設(shè)置于所述真空空間內(nèi);一電極,所述電極設(shè)置于所述殼體上,且與所述固定...
真空規(guī)管座,其包括規(guī)管座本體以及螺紋連接于管座本體上方的鎖緊螺母,管座本體的上方開設(shè)有安裝槽,安裝槽的槽底設(shè)置為錐形面,安裝槽內(nèi)安裝有真空密封圈,真空密封圈的外端抵靠于安裝槽的內(nèi)槽壁,下端抵靠于錐形面槽底,上方設(shè)置有錐形壓圈,錐形壓圈套裝于安裝槽內(nèi),錐形壓圈的上端抵靠于鎖緊螺母,下端設(shè)置由錐形面,并抵靠于真空密封圈。本實(shí)用新型錐形面擠壓真空密封圈,使真空密封圈往中間聚攏,提高密封效果,而且能防止真空密封圈錯(cuò)位;而且采用雙密封圈實(shí)現(xiàn)雙重密封,進(jìn)一步提高密封效果。熱陰極真空規(guī)管以及熱陰極真空規(guī)管不同放置位置對(duì)低溫容器真空夾層內(nèi)殘余氣體的影響。黃山真空規(guī)管多少錢一臺(tái)真空規(guī)管如何安裝?真空規(guī)管一般是裝...
電容薄膜真空計(jì)是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì),原理是把加于電容薄膜上的壓力變化產(chǎn)生膜片間距離的變化,即產(chǎn)生了電容的變化,再通過(guò)鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化,組成為輸出信號(hào),所以,它的測(cè)量是直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無(wú)關(guān),即:薄膜真空計(jì)是一種直接測(cè)量式的、全壓型的真空計(jì)。電容式薄膜真空計(jì)原理根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計(jì)稱為電容式薄膜真空計(jì),它由電容式薄膜規(guī)管(又稱為電容式壓力傳感器)和測(cè)量?jī)x器兩部分組成。根據(jù)測(cè)量電容的不同方法,儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是:種補(bǔ)償法,具有較高的測(cè)量精度。目前在計(jì)量部門作為低真空...
真空規(guī)管安裝位置與方法對(duì)真空測(cè)量的影響:首先原則上應(yīng)把真空規(guī)管安裝在接近被測(cè)量的部位,連接管道遵循真空系統(tǒng)的配管原則,要求短而粗,這樣才能正確測(cè)量出被測(cè)部位的實(shí)際壓力。如果在其間安裝導(dǎo)管、冷阱、擋板、過(guò)濾器等部件時(shí),需要進(jìn)行修正。同時(shí),規(guī)管不應(yīng)安裝在真空系統(tǒng)中存在氣源的地方。對(duì)于沒有定向氣流的靜態(tài)平衡真空系統(tǒng),各處壓力相等,對(duì)真空規(guī)管安裝不會(huì)有特殊要求。但對(duì)于存在定向氣流的非靜態(tài)平衡系統(tǒng),各處壓力不相等,在安裝真空規(guī)管時(shí)就必須注意“方向效應(yīng)”。另外,在存在溫差的系統(tǒng)中,溫差也會(huì)引發(fā)氣體的定向流動(dòng)。當(dāng)電子碰撞氣體分子使其電離并產(chǎn)生離子,獲得能量的離子打到規(guī)管壁上或被收集極接收。舟山真空規(guī)管公司咨...
想進(jìn)一步了解真空管?原廠數(shù)據(jù)上沒有明講的知識(shí),用什么真空管就要很仔細(xì)研讀真空管原廠技術(shù)資料,研究得很深入,才能體會(huì)怎么運(yùn)用這支真空管是較好的?如何在屏耗、屏壓、屏流、功率輸出、安全性、耐用度、聲音質(zhì)量取得較好的平衡,當(dāng)您電路看多了,就能很快看出這個(gè)電路的優(yōu)缺點(diǎn)還有設(shè)計(jì)者的想法。設(shè)計(jì)電路及制作機(jī)器有相當(dāng)經(jīng)驗(yàn)后,機(jī)器的問題能很快正確判斷,慢慢的看到電路就會(huì)有電路運(yùn)作的感覺,因?yàn)殡娐吩O(shè)計(jì)是靜態(tài)的,但是電路運(yùn)作是動(dòng)態(tài)的,到這里才能做到電路設(shè)計(jì)跟實(shí)際運(yùn)作的預(yù)期接近一致,否則常常是實(shí)際運(yùn)作不如預(yù)期,也就是設(shè)計(jì)電路時(shí),要把實(shí)際運(yùn)作的各種動(dòng)態(tài)都要考慮進(jìn)去,慢慢的才會(huì)電路設(shè)計(jì)跟實(shí)際運(yùn)作的預(yù)期接近一致。另外也要對(duì)...
放電氣體環(huán)境真空規(guī)管輔助儀器.該儀器包括:兩個(gè)金屬網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)的電子和離子屏蔽電極;在兩個(gè)屏蔽電極之間以及一個(gè)屏蔽電極和真空室器壁之間施加兩個(gè)屏蔽電壓,實(shí)現(xiàn)第1級(jí)離子屏蔽和第二級(jí)電子屏蔽;兩個(gè)絕緣支柱和一個(gè)安放于真空室的連接口.該儀器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低廉,能夠很好地解決電離真空規(guī)管在等離子體環(huán)境中讀數(shù)偏高甚至不能工作的問題,提高其測(cè)量穩(wěn)定性和準(zhǔn)確度,可以在放電氣體環(huán)境中提供可靠的真空測(cè)量,同時(shí)配合離子真空規(guī)管使用,測(cè)量放電氣體的電離度,規(guī)避了傳統(tǒng)氣體電離度測(cè)量成本高,設(shè)備復(fù)雜的缺點(diǎn),是一種易于在工業(yè)界推廣的新型氣體電離度監(jiān)測(cè)儀器。全新的真空規(guī)管有沒有可能是壞的?南京真空規(guī)管維修真空設(shè)備真空計(jì)的分類及...
對(duì)現(xiàn)有的真空規(guī)管的改進(jìn).由一熱偶真空規(guī)管本體和一設(shè)置在熱偶真空規(guī)管本體前端的自動(dòng)密封結(jié)構(gòu)所構(gòu)成,在所述的熱偶真空規(guī)管本體管腳的前端部側(cè)壁上開有若干通孔,所述的自動(dòng)密封結(jié)構(gòu)由連接在真空規(guī)管的連接頭前端的筒狀彈簧座,設(shè)在筒狀彈簧座側(cè)壁上的若干通孔,安裝在彈簧座中的壓縮彈簧,蓋接在壓縮彈簧頂端的,其外緣與筒狀彈簧座內(nèi)緣相配合的密封帽以及設(shè)在密封帽外端面上的可封接于規(guī)管連接頭前端端面上的密封圈所構(gòu)成.其優(yōu)點(diǎn)是在更換規(guī)管時(shí)可保持設(shè)備的真空度。真空規(guī)管,真空規(guī)管就是測(cè)量真空度的傳感器。池州真空管訂購(gòu)全新的真空規(guī)管有沒有可能是壞的?裝上后面板上顯示的真空度一直在跳動(dòng),是什么原因?是不是真空規(guī)管壞了呢?真空度...
真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片( 上電極) 、上層密封用的玻璃組成, 其中下電極濺射在玻璃襯底上, 電極上生長(zhǎng)一絕緣層; 硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴(kuò)散和各向異性腐蝕技術(shù)形成的。該電容式真空傳感器有兩個(gè)腔體, 其中上面的腔體是一個(gè)真空腔, 下面的腔體是鍵合形成的, 這個(gè)腔體不是密封的, 腔內(nèi)氣體與外界氣體相通。電容器的兩平板間的距離可由硅片腐蝕的深度控制, 硅膜片與玻璃電極之間的間隙很小, 這也是硅電容式傳感器靈敏度高的原因。熱陰極真空規(guī)管以及熱陰極真空規(guī)管不同放置位置對(duì)低溫容器真空夾層內(nèi)殘余氣體的影響。宿遷真空規(guī)管工廠金屬熱偶真空規(guī)管,該型規(guī)管采用經(jīng)過(guò)穩(wěn)定化處理,熱容量較小的鎳...
真空設(shè)備真空計(jì)的分類及應(yīng)用:結(jié)構(gòu)與工作原理: 壓力控制儀可在手動(dòng)和自動(dòng)兩種工況下運(yùn)行。當(dāng)開關(guān)S打到手動(dòng)位置時(shí),壓力控制儀相當(dāng)于一個(gè)手動(dòng)微調(diào)真空閥,進(jìn)行手動(dòng)壓力調(diào)節(jié);當(dāng)開關(guān)S打到自動(dòng)位置時(shí),壓力控制儀構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)的自動(dòng)控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)壓力定值自動(dòng)調(diào)節(jié)其調(diào)節(jié)過(guò)程是:首先由給定單元設(shè)定希望控制的壓力值,根據(jù)具體的被控對(duì)象的特性,選擇好PID調(diào)節(jié)單元的比例度艿、積分時(shí)間Ti、微分時(shí)間Td等參數(shù),當(dāng)真空測(cè)量單元輸出一個(gè)表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號(hào)時(shí),壓力節(jié)單元可將壓力設(shè)定值與壓力測(cè)量值進(jìn)行比較,并將差值進(jìn)行運(yùn)算(例如P、PI、PID);然后通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路,驅(qū)動(dòng)真空調(diào)節(jié)閥,改變進(jìn)入真空室的氣體流...
真空設(shè)備真空計(jì)的分類及應(yīng)用:結(jié)構(gòu)與工作原理: 壓力控制儀可在手動(dòng)和自動(dòng)兩種工況下運(yùn)行。當(dāng)開關(guān)S打到手動(dòng)位置時(shí),壓力控制儀相當(dāng)于一個(gè)手動(dòng)微調(diào)真空閥,進(jìn)行手動(dòng)壓力調(diào)節(jié);當(dāng)開關(guān)S打到自動(dòng)位置時(shí),壓力控制儀構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)的自動(dòng)控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)壓力定值自動(dòng)調(diào)節(jié)其調(diào)節(jié)過(guò)程是:首先由給定單元設(shè)定希望控制的壓力值,根據(jù)具體的被控對(duì)象的特性,選擇好PID調(diào)節(jié)單元的比例度艿、積分時(shí)間Ti、微分時(shí)間Td等參數(shù),當(dāng)真空測(cè)量單元輸出一個(gè)表征被控真空裝置真空室壓力高低的電壓信號(hào)時(shí),壓力節(jié)單元可將壓力設(shè)定值與壓力測(cè)量值進(jìn)行比較,并將差值進(jìn)行運(yùn)算(例如P、PI、PID);然后通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路,驅(qū)動(dòng)真空調(diào)節(jié)閥,改變進(jìn)入真空室的氣體流...
真空規(guī)管如何安裝?真空規(guī)管一般是裝在真空鍍膜室的位置,是指電離規(guī)管,玻璃管端部用老虎鉗夾破一點(diǎn),放進(jìn)真空室密封好,必須大氣狀態(tài)完成。(還有電阻規(guī)它是測(cè)粗真空的,這種沒有規(guī)管,就一個(gè)傳感器)用來(lái)監(jiān)測(cè)真空度的,電離規(guī)開啟一般是有要求的,當(dāng)壓強(qiáng)到3PA以下才開真空,可設(shè)置壓強(qiáng)參數(shù),到了會(huì)自動(dòng)開,過(guò)早開會(huì)氧化電離規(guī),導(dǎo)致燒。真空規(guī)管就是測(cè)量真空度的傳感器。真空規(guī)管測(cè)量出來(lái)的信號(hào)傳輸?shù)秸婵沼?jì)上經(jīng)過(guò)放大處理就可以顯示出被測(cè)真空環(huán)境的真空度。主要應(yīng)用于真空環(huán)境的真空度測(cè)量領(lǐng)域,如真空鍍膜,太陽(yáng)能集熱管制作,真空冶煉等。真空規(guī)管安裝位置與方法對(duì)真空測(cè)量的影響有哪些?福建真空計(jì)批發(fā)放電氣體環(huán)境真空規(guī)管輔助儀器....
藍(lán)寶石薄膜片真空規(guī)管.一種藍(lán)寶石薄膜片真空規(guī)管,包括:外殼;薄膜片,所述薄膜片的材質(zhì)為藍(lán)寶石材料,所述薄膜片將外殼內(nèi)部空間分為真空空間和被測(cè)空間;陶瓷極板,所述陶瓷極板固定設(shè)置在真空空間內(nèi),所述陶瓷極板與所述薄膜片平行相對(duì)的那一表面上鍍有一層主電極;第1電極柱,所述第1電極柱一端與外部電容測(cè)量電路相接,另一端與外殼相接;第二電極柱,所述第二電極柱一端與外部電容測(cè)量電路相連,另一端穿過(guò)外殼與陶瓷極板相接,且與外殼絕緣;進(jìn)氣口,所述進(jìn)氣口設(shè)置在所述外殼上,并位于所述被測(cè)空間所在的一側(cè).本發(fā)明中提供的真空規(guī)管中,采用藍(lán)寶石材料的薄膜片作為可變電極,具有應(yīng)力次數(shù)高和耐腐蝕的優(yōu)點(diǎn)。真空規(guī)管放氣對(duì)真空測(cè)量...
靈敏度倍增真空規(guī)管組,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域,本發(fā)明通過(guò)提供的一種靈敏度倍增真空規(guī)管組采用了至少兩個(gè)真空規(guī)管并聯(lián)在一起,有效的提高了整個(gè)測(cè)量實(shí)施過(guò)程中電容薄膜的大小,提高了整個(gè)真空度的測(cè)量靈敏度。其特征在于:所述真空規(guī)管組至少包括兩個(gè)真空規(guī)管,所述至少兩個(gè)真空規(guī)管采用并聯(lián)的方式設(shè)置,其中,所述真空規(guī)管包括:一殼體,所述殼體內(nèi)具有一容置空間;一電容薄膜,所述電容薄膜設(shè)置于所述容置空間內(nèi),并把所述容置空間分為被測(cè)空間和真空空間;一進(jìn)氣口,所述進(jìn)氣口設(shè)置于所述殼體上,且所述被測(cè)空間通過(guò)所述進(jìn)氣口與進(jìn)氣管連通;一固定電極板,所述固定電極板設(shè)置于所述真空空間內(nèi);一電極,所述電極設(shè)置于所述殼體上,且與所述固定...
通過(guò)理論分析,確立了真空傳感器中硅尖場(chǎng)發(fā)射電流與真空度的關(guān)系。并利用干法刻蝕工藝, 在硅片上制作了高3.2μm, 曲率半徑小于70nm的200 ×42硅尖陣列。保持陽(yáng)極與硅尖距離為1μm的情況下, 可以觀察到陽(yáng)極電壓為10V左右時(shí)開始有明顯的場(chǎng)發(fā)射電流。利用硅尖陣列場(chǎng)發(fā)射電流大小隨真空度變化而變化的現(xiàn)象, 研制了一種基于硅尖陣列場(chǎng)發(fā)射原理的場(chǎng)發(fā)射真空傳感器。利用加工工藝制作出傳感器樣機(jī), 并搭建測(cè)試系統(tǒng)測(cè)試其特性。通過(guò)實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn), 隨著真空度的提高, 傳感器輸出電流也會(huì)隨之增大, 而且真空度越高輸出電流越大, 分辨率、靈敏度越高。真空規(guī)管管碟裝配結(jié)構(gòu),其特征在于:包括管殼和管碟底座;所述管殼設(shè)有...