如前文所述，必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題，因此，該復數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小，例如：孔徑a0小于3mm，即可因毛細現(xiàn)象的作用，亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4，而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經由該復數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示)。再者，請再參閱圖10至圖12所示，為本實用新型蝕刻設備其二較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結構結合風刀裝置示意圖，以及宣泄孔的表面張力局部放大圖，其中該宣...

所述裝置主體前端表面靠近左上邊角位置設置有活動板，所述分隔板右端放置有蓄水箱，所述蓄水箱上端靠近右側連接有進水管，所述回流管下端連接有抽水管，所述抽水管內部上端設置有三號電磁閥，所述裝置主體前端表面靠近右側安裝有控制面板。作為本發(fā)明的進一步方案，所述分隔板與承載板相互垂直設置，所述電解池內部底端的傾斜角度設計為5°。作為本發(fā)明的進一步方案，所述進液管的形狀設計為l型，且進液管貫穿分隔板設置在進液漏斗與伸縮管之間。作為本發(fā)明的進一步方案，所述圓環(huán)塊通過伸縮桿活動安裝在噴頭上方，且噴頭通過伸縮管活動安裝在電解池上方。作為本發(fā)明的進一步方案，所述回流管與進水管的形狀均設計為l型，所述傾斜板的...

且過濾部件能將內部的過濾板進行拆卸更換，有效的提高了裝置連接安裝的便利性。2.高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置，連接構件，連接構件設置在攪拌倉的底部，連接構件與攪拌倉固定連接，連接構件能將裝置主體內部的兩個構件進行連接并固定，且在將兩構件進行連接或拆卸的時候，不需要使用任何工具就能完成安裝和拆卸工作，有效的提高了裝置連接的實用性。附圖說明圖1為本實用新型的整體結構示意圖；圖2為本實用新型的過濾部件剖視圖；圖3為本實用新型的連接構件剖視圖；圖4為本實用新型的內部構件連接框架圖。圖中：1、裝置主體，2、支撐腿，3、電源線，4、單片機，5、控制器，6、防滑紋，7、密封閥門(z45x-16...

所述液位計連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個實施例中，所述分離器的側壁上設有多個視鏡。在其中一個實施例中，所述液位計安裝于所述分離器的外表面。在其中一個實施例中，所述液位開關為控制閥，設置于所述濾液出口處。在其中一個實施例中，所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個實施例中，所述分離器底部為錐體形狀。上述，利用加熱器對含銅蝕刻液進行加熱，使其達到閃蒸要求的溫度，將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器，經過減壓閥及真空泵減壓，含銅蝕刻液在分離器內發(fā)生閃蒸，產生大量蒸汽，蒸汽中攜帶著大小不等的液滴，通過除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出，減小產品損失。附圖說明圖1是本實施例...

避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候，會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況，有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行。推薦的，支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6，在制備蝕刻液的時候，需要將裝置固定的特定的位置，通過支撐腿2將裝置主體1進行支撐固定，在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時，防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力，使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上，有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的，過濾部件9的內部兩側嵌入連接有過濾板26，常規(guī)的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合，其分散混合性能差，蝕刻液雜質含量多，過濾板26能將蝕刻液內部的雜...

本實用涉及電子化學品生產設備技術領域，具體為高蝕刻速率無殘留酸性鋁蝕刻液生產裝置。背景技術：近年來，人們對半導體裝置、液晶顯示器的需求量不斷增加的同時，對于這些裝置所具有的配線、電極等的微小化、高性能化的要求也越來越嚴格，而蝕刻的效果能直接導致電路板制造工藝的好壞，影響高密度細導線圖像的精度和質量，為了解決蝕刻液組合物蝕刻鋁材料過程中，對蝕刻速率慢、難以控制蝕刻角度和不同金屬層的蝕刻量而造成的多層配線的半導體裝置的配線的斷路、短路，得到較高的成品率，為保證其穩(wěn)定性及蝕刻的平滑度及精度，在蝕刻液中需要加入多種組分，而常規(guī)的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合?，F(xiàn)有的高蝕刻速率...

避免連接構件11的兩側與操作人員的手接觸的時候，會因操作人員的手沾濕出現(xiàn)手滑的情況，有效的保證了裝置內部構件的連接工作能正常的進行。推薦的，支撐腿2的底端嵌入連接有防滑紋6，在制備蝕刻液的時候，需要將裝置固定的特定的位置，通過支撐腿2將裝置主體1進行支撐固定，在支撐腿2與固定位置的接觸面接觸時，防滑紋6能增大支撐腿2的底端與固定接觸面的摩擦力，使裝置主體1能有足夠的抓地力固定在固定位置上，有效的提高了裝置固定的防滑性。推薦的，過濾部件9的內部兩側嵌入連接有過濾板26，常規(guī)的生產方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合，其分散混合性能差，蝕刻液雜質含量多，過濾板26能將蝕刻液內部的雜...

本實用新型涉及一種鋁蝕刻液生產設備。背景技術：鋁蝕刻液生產設備主要包括混合罐、過濾器和儲存罐，將蝕刻液中的各組份在混合罐混合均勻，由過濾器濾去雜質后投入儲存罐中暫存，然后分裝銷售。以往，鋁蝕刻液的分裝由人工操作，隨著自動化技術的興起，全自動灌裝線在鋁蝕刻液生產企業(yè)得到廣泛應用，但是，我司的鋁蝕刻液生產車間面積較小，無法放置自動灌裝線，所以需要對現(xiàn)有的生產設備進行改造，以實現(xiàn)鋁蝕刻液的全自動灌裝。技術實現(xiàn)要素：本實用新型提出了一種鋁蝕刻液生產設備，以解決上述背景技術中提出的問題。為達前述目的，本實用新型提供的技術方案如下：鋁蝕刻液生產設備，包括混合罐、過濾器、數(shù)個儲存罐、數(shù)輛液壓升降式拖...

伸縮桿12下端固定安裝有圓環(huán)塊13，圓環(huán)塊13與噴頭10之間固定連接有連接桿14，分隔板2與承載板3相互垂直設置，電解池4內部底端的傾斜角度設計為5°，進液管8的形狀設計為l型，且進液管8貫穿分隔板2設置在進液漏斗6與伸縮管9之間，圓環(huán)塊13通過伸縮桿12活動安裝在噴頭10上方，且噴頭10通過伸縮管9活動安裝在電解池4上方，通過設置有伸縮管9與伸縮桿12，能夠在蝕刻液通過進液管8流入到電解池4中時，啟動液壓缸11帶動伸縮桿12向上移動，從而通過圓環(huán)塊13配合伸縮管9帶動噴頭10向上移動，進而將蝕刻液緩慢的由噴頭10噴入到電解池4中，避免蝕刻液對電解池4造成沖擊而影響其使用壽命，具有保護...

博洋股份一直致力于為國內外**公司提供化工產品的服務，該服務包含了國內原材料資源開發(fā)、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學品航天、汽車領域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內外**公司提供化工產品的服務，該服務包含了國內原材料資源開發(fā)、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學品航天、汽車領域水處理、膠黏劑行業(yè)日化、食品、醫(yī)藥行業(yè)博洋股份一直致力于為國內外**公司提供化工產品的服務，該服務包含了國內原材料資源開發(fā)、品質保證、倉儲和物流。類別Category行業(yè)Industry工業(yè)化學品航天、汽車領域水處理、...

為本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖，以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖，在本實用新型其二較佳實施例中，開設于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離，例如：圖4中所示的w1，其中w1大于圖3的w或圖5的w2，其中w2大于w，而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm，以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現(xiàn)象，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時，則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道，以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外，請參閱圖6與圖7所示...

可以維持合適的蝕刻速度且提高sin/sio2選擇比。(b)硅烷系偶聯(lián)劑本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶聯(lián)劑作為防蝕劑可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化時使用。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以，更推薦滿足。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦按照蝕刻液組合物的蝕刻程度(etchingamount，e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來添加。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦為選自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、雙(三...

12、伸縮桿；13、圓環(huán)塊；14、連接桿；15、回流管；16、增壓泵；17、一號排液管；18、一號電磁閥；19、抽氣泵；20、排氣管；21、集氣箱；22、二號排液管；23、二號電磁閥；24、傾斜板；25、活動板；26、蓄水箱；27、進水管；28、抽水管；29、三號電磁閥；30、控制面板。具體實施方式下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參閱圖1-5，本發(fā)明提供一種技術方...

本發(fā)明涉及一種用來在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術：以往，在蝕刻鈦時一直使用含有氫氟酸或過氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻1中提出了一種鈦的蝕刻液，該鈦的蝕刻液是用來在銅或鋁的存在下蝕刻鈦，并且該蝕刻液的特征在于：利用由10重量％至40重量％的過氧化氫、％至5重量％的磷酸、％至％的膦酸系化合物及氨所構成的水溶液將pH值調整為7至9。但是，含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題，含有過氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題。現(xiàn)有技術文獻專利文獻專利文獻1：日本特許第4471094號說明書。技術實現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實際情況而成，其目的在于...

為本實用新型擋液板結構其二較佳實施例的宣泄孔排列示意圖，以及其三較佳實施例的宣泄孔排列示意圖，在本實用新型其二較佳實施例中，開設于該第二擋板12上的宣泄孔121亦呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離，例如：圖4中所示的w1，其中w1大于圖3的w或圖5的w2，其中w2大于w，而該宣泄孔121的一孔徑a0亦小于3mm，以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現(xiàn)象，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時，則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道，以借由該宣泄孔121平衡該第二擋板12上、下二端部的壓力。此外，請參閱圖6與圖7所示...

本實用涉及蝕刻設備技術領域，具體為一種ito蝕刻液制備裝置。背景技術：蝕刻是將材料使用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術，蝕刻技術分為濕蝕刻和干蝕刻，其中，濕蝕刻是采用化學試劑，經由化學反應達到蝕刻的目的，薄膜場效應晶體管液晶顯示器(tft～lcd)、發(fā)光二極管(led)、有機發(fā)光二極管(oled)等行業(yè)用作面板過程中銦錫氧化物半導體透明導電膜(ito)的蝕刻通常采用鹽酸和硝酸的混合水溶液?，F(xiàn)有的制備裝置在進行制備時會發(fā)***熱反應，使得裝置外殼穩(wěn)定較高，工作人員直接接觸有燙傷風險，熱水與鹽酸接觸會產生較為劇烈的反應，濺出容易傷害工作人員，保護性不足，鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性，常規(guī)的攪...

內部頂部兩側的震蕩彈簧件14，震蕩彈簧件14頂端的運轉電機組13，運轉電機組13頂端的控制面板15，內部中間部位的致密防腐桿16和致密防腐桿16內部內側的攪動孔17共同組合而成，由于鹽酸硝酸具有較強的腐蝕性，常規(guī)的攪拌裝置容易被腐蝕，影響蝕刻液的質量，用防腐蝕的聚四氟乙烯攪拌漿進行攪拌，成本過高，且混合的效果不好，通過設置高效攪拌裝置2，該裝置通過運轉電機組13驅動旋轉搖勻轉盤12，使旋轉搖勻轉盤12帶動高效攪拌裝置2進行旋轉搖勻，同時設置的震蕩彈簧件14可通過驅動對高效攪拌裝置2進行震蕩搖勻，高效攪拌裝置2內部的蝕刻液通過內置的致密防腐桿16，致密防腐桿16內部的攪動孔17能夠使蝕刻...

12、伸縮桿；13、圓環(huán)塊；14、連接桿；15、回流管；16、增壓泵；17、一號排液管；18、一號電磁閥；19、抽氣泵；20、排氣管；21、集氣箱；22、二號排液管；23、二號電磁閥；24、傾斜板；25、活動板；26、蓄水箱；27、進水管；28、抽水管；29、三號電磁閥；30、控制面板。具體實施方式下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。請參閱圖1-5，本發(fā)明提供一種技術方...

近年來，oled顯示器廣泛應用于手機和平板顯示。金屬銀以優(yōu)異的電導率和載流子遷移率被廣泛應用于oled顯示器的陽極布線(ito/ag/ito)結構中。為了對此進行蝕刻，目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸鹽的濕蝕刻液(cna)。這樣的體系雖然能有效去除金屬銀，但在實際使用過程中仍會存在少量的銀殘留或銀再吸附沉積問題。4.本發(fā)明所要解決的技術問題在于如何解決現(xiàn)有的銀蝕刻液在使用過程中存在少量的銀殘留、銀再吸附沉積問題。5.本發(fā)明通過以下技術手段實現(xiàn)解決上述技術問題的：6.一種銀蝕刻液組合物，其成分由質量占比為40-60％磷酸、2-10％硝酸、％有機酸、％硝酸鹽、％含氮元素有機物、其...

蝕刻液也可含有α-羥基羧酸和/或其鹽。α-羥基羧酸及其鹽具有作為鈦的絡合劑的效果，可抑制蝕刻液中產生鈦的沉淀。作為所述α-羥基羧酸，例如可舉出酒石酸、蘋果酸、檸檬酸、乳酸及甘油酸等。α-羥基羧酸和/或其鹽的濃度并無特別限制，從絡合效果及溶解性的觀點來看，推薦為％至5重量％，更推薦為％至2重量％。另外，蝕刻液也可含有亞硫酸及/或其鹽。亞硫酸及其鹽具有作為還原劑的效果，可提高鈦的蝕刻速度。亞硫酸和/或其鹽的濃度并無特別限制，從還原性及臭氣的觀點來看，推薦為％至％，更推薦為％至％。蝕刻液中除了上述的成分以外，也能以不妨礙本發(fā)明效果的程度添加其他成分。作為其他成分，例如可舉出表面活性劑、成分穩(wěn)...

技術實現(xiàn)要素：本實用新型所解決的技術問題即在于提供一種擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，尤其是指一種適用于濕式蝕刻機的擋液排液功能且增加其透氣性以降低產品損耗的擋液板結構與以之制備的蝕刻設備，主要借由具有復數(shù)個宣泄孔的擋液板結構搭配風刀裝置的硬體設計，有效使風刀裝置吹出的氣體得以經由宣泄孔宣泄，并利用水滴的表面張力現(xiàn)象防止水滴由宣泄孔落下造成基板顯影不均等異?，F(xiàn)象，確實達到保有原始擋液板的擋液效果，以及增加透氣性以破除真空以減少因真空吸板導致的基板刮傷或破片風險等主要優(yōu)勢。本實用新型所采用的技術手段如下所述。為了達到上述的實施目的，本實用新型提出一種擋液板結構，適用于一濕式蝕刻機，擋液板...

步驟一s1：設置一擋液板結構10，其中該擋液板結構10設置有復數(shù)個宣泄孔121；該擋液板結構10包括有一***擋板11、一與該***擋板11接合的第二擋板12，以及一與該第二擋板12接合的第三擋板13，其中該第二擋板12具有復數(shù)個貫穿該第二擋板12且錯位設置的宣泄孔121，該復數(shù)個宣泄孔121呈千鳥排列的直通孔態(tài)樣，且位于同一列的宣泄孔121之間具有相同的距離，其中該宣泄孔121的孔徑a0比較好小于3mm，以使該宣泄孔121的孔洞內產生毛細現(xiàn)象，若該第二擋板12的該上表面123有水滴出現(xiàn)時，則該水滴不至于經由該宣泄孔121落至下表面122，但仍舊可以提供空氣宣泄的管道，以借由該宣泄孔1...