【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內由惰性氣體(通常為氬)產生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點是基片相對于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨控制。基片通常接地位,它和靶與高頻電路無關,不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實現對樣品臺的單獨控溫,就可以根據不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進行適當調節(jié)。根據現有離子束濺射設備的構造,設計、加工了專門的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密...
【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預抽閥→關預抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關轟擊→開真空計→當真空到6.0~7.0pa時,關粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當真空達到7x10-3pa,開轉架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關閉真空計、離子源→關精抽閥,前置閥→關羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復開始操作。 特別注意: 1.設備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內表面氣體的吸附,防止氧化。 2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱,未經充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。 3.要保證機器內擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。...
【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】 靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是*簡單易行的真空系統檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質,通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統的總漏率,從而確定真空系統或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。 靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應的壓力范圍,再關閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數據?!墩婵障到y抽氣達不到工作壓力有哪些原...
【真空鍍膜機真空檢漏方法之靜態(tài)升壓法】 靜態(tài)升壓法屬于真空檢漏法中的一種,也是*簡單易行的真空系統檢漏方法,因為它不需要用額外特殊的儀器或者特殊物質,通過測量規(guī)管就可以檢測真空系統的總漏率,從而確定真空系統或部件是否滿足工作要求。雖然勝在簡單,但也存在局限。如果真空系統或容器存在漏孔的話,靜態(tài)升壓法是無法確定漏孔所在的。因此在確定系統是否有漏孔的同時還需要確定其位置的話,就需要配合其他方法來進行了。 靜態(tài)升壓法的操作只要將被檢容器抽空至相應的壓力范圍,再關閉閥門,隔離真空泵與真空容器,然后用真空計測量記錄真空容器中壓力隨時間的變化過程,即可得出泄漏數據?!墩婵障到y抽氣達不到工作壓力有哪些原...
【真空鍍膜機常見故障】: 一、 當正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈) 2. 坩堝被打穿(更換坩堝) 3. 高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈) 4. 工轉動密封處膠圈損壞(更換膠圈) 5. 預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 6. 高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 7. 機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常) 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈) 9. 擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈) 10. 玻璃觀察視鏡出現裂紋、炸裂(更換玻璃) 二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空: ...
【真空鍍膜的分類】真空鍍膜的鍍層結構一般為:基材、底漆、真空膜層、面漆,因靶材理化特性直接決定膜層的特性,根據膜層的導電與否,可分為導電真空鍍膜(VM)和不導電真空鍍膜(NCVM)兩種。 VM:一般用在化妝品類、NB類、3C類、汽配類按鍵、裝飾框、按鍵RING類飾品的表面處理,其表面效果與水電鍍相媲美,靶材一般為鋁、銅、錫、金、銀等。 NCVM:具有金屬質感、透明,但不導電,一般用在通訊類、3C類對抗擾要較高的機殼、裝飾框、按鍵件、RING類飾品的表面處理,其表面效果為水電鍍不可取代,靶材一般為銦、銦錫。三、擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽的速度會顯然變慢,當操作不當應拆去聯結水管,卸下電爐盤,...
【真空鍍膜之離子束濺射鍍膜】離子束濺射沉積法在離子源內由惰性氣體(通常為氬)產生具有較高能量的離子轟擊靶材料,把靶材料沉積到基片上的方法。離子束濺射沉積法的一da優(yōu)點是基片相對于離子源和靶是du立的,它的溫度可以單獨控制?;ǔ=拥匚唬桶信c高頻電路無關,不會象陰極濺射鍍膜那樣受到高能電子的轟擊,因而溫度較低。所以只要配置一臺較好的恒溫循環(huán)器(如HX1050型,控溫范圍為-10℃~50℃,精度≤0。5℃),實現對樣品臺的單獨控溫,就可以根據不同樣品的要求以及薄膜生長不同階段的溫度需要進行適當調節(jié)。根據現有離子束濺射設備的構造,設計、加工了專門的金屬樣品架,放上樣品后蓋上金屬壓片,用螺絲緊密...
【真空鍍膜機常見故障】: 一、 當正在鍍膜室真空突然下降 1. 蒸發(fā)源水路膠圈損壞(更換膠圈) 2. 坩堝被打穿(更換坩堝) 3. 高壓電極密封處被擊穿(更換膠圈) 4. 工轉動密封處膠圈損壞(更換膠圈) 5. 預閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 6. 高閥突然關閉可能是二位五通閥損壞(更換二位五通閥) 7. 機械泵停機可能是繼電器斷開(檢查繼電器是否工作正常) 8. 烘烤引入線電極密封處被擊穿(更換膠圈) 9. 擋板動密封處膠圈損壞(更換膠圈) 10. 玻璃觀察視鏡出現裂紋、炸裂(更換玻璃) 二、長期工作的鍍膜機抽真空的時間很長且達不到工作真空、恢復真空、極限真空、保真空: ...
【真空鍍膜機之鍍鋅工藝】在鋼鐵合金材料的表面鍍一層鋅以起美觀、防銹等作用的表面處理技術,表面的鋅層是一種電化學保護層,可以防止金屬腐壞,主要采用的方法是熱鍍鋅和電鍍鋅。 適用材料: 由于鍍鋅工藝依賴于冶金結合技術,所以只適合鋼和鐵的表面處理。 工藝成本:無模具費用,周期短/人力成本中等,因為工件的表面質量很da程度上取決于鍍鋅前的人工表面處理。 環(huán)境影響:由于鍍鋅工藝增長了鋼鐵件40-100年的使用壽命,很好的防止了工件的生銹和腐壞,所以對保護壞境有積極的作用。另外,鍍過鋅的工件在使用壽命到期后,可以重新送返鍍鋅槽,對液態(tài)鋅的反復利用不會產生化學或物理廢料。 真空鍍膜機技術教程。天津手機真空鍍...
【常見的真空材料表面上的污染物類型】 1、油脂:加工、裝配、操作時沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等; 2、酸、堿、鹽類物質:清洗時的殘余物質、手汗、水中的礦物質等; 3、表面氧化物:材料長期放置在空氣中或放置在潮濕空氣中所形成的表面氧化物; 4、水基類:操作時的手汗、吹氣時的水汽、唾液等; 5、拋光殘渣及環(huán)境空氣中的塵埃和其它有機物等。 清洗這些污染物的目的是為了改進真空鍍膜機的工作穩(wěn)定性,使工作能夠更加順利的進行。清洗后的表面根據要求分為原子級清潔表面和工藝技術上的清潔表面兩類?!?在真空鍍膜機使用鍍膜材料鍍膜前,對鍍膜材料做簡單的表面清潔可以延長鍍膜機的使用壽命。因為各種污染物不僅使真空...
【真空鍍膜機清洗工藝之氮氣沖洗】 氮氣在材料表面吸附時,由于吸附能小,因而吸留表面時間極短.即便吸附在器壁上,也很容易被抽走。利用氮氣的這種性質沖洗真空系統,可以dada縮短系統的抽氣時間。如真空鍍膜機在放入da氣之前,先用干燥氮氣充入真空室沖刷一下再充入da氣,則下一抽氣循環(huán)的抽氣時間可縮短近一半,其原因為氮分予的吸附能遠比水氣分子小,在真空下充入氮氣后,氮分子先被真空室壁吸附了。由于吸附位是一定的,先被氮分子占滿了,其吸附的水分子就很少了,因而使抽氣時間縮短了。如果系統被擴散泵油噴濺污染了,還可以利用氮氣沖洗法來清洗被污染的系統.一般是一邊對系統進行烘烤加熱,一邊用氮氣沖洗系統,可將油污染...
【真空鍍膜機真空檢漏方法普及之熒光檢漏法】 熒光檢漏法首先需要將熒光材料溶于如丙tong等一些浸潤性能好、易于揮發(fā)的有機溶劑中,使之成為飽和溶液;然后將被檢的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面,這一過程中,為了提升效果、縮短浸泡時間,可以在抽真空或者加壓條件下對其進行浸泡。如果存在漏孔,熒光劑溶液會因毛細作用滲入到其中;qing除表面多余的溶液,待有機溶劑揮發(fā)后,熒光材料便會在漏孔中殘留下來;此時再用紫外線燈光照射,漏孔位置就會觀察到明顯的熒光點。 在進行紫外光源照射時,對于一些存在盲孔、表面不平的器件,可能也會存在殘留熒光材料,因此玻璃真空器件*好在背面進行照射觀察;為了提高對比...
【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預抽閥→關預抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關轟擊→開真空計→當真空到6.0~7.0pa時,關粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當真空達到7x10-3pa,開轉架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關閉真空計、離子源→關精抽閥,前置閥→關羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復開始操作。 特別注意: 1.設備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內表面氣體的吸附,防止氧化。 2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱,未經充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。 3.要保證機器內擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。...
【真空鍍膜設備設計原則及常用技術指標】 真空設備設計原則:(1)先功能,后結構。先給出指標參數、生產要求、功能;(2)先核xin后輔助。由內向外。先決定靶尺寸、靶基距;(3)先局部,后整體。再由整體,定局部。(4)先設計,后校核。由粗到細。 鍍膜機常用技術指標:鍍膜方法:CVD,PVD(蒸發(fā)、濺射、離子鍍、復合鍍);被鍍工件的形狀、尺寸;工件架尺寸;真空室尺寸;生產方式:連續(xù)、半連續(xù)、周期式。生產周期。生產量。生產速率。技術參數;設備極限真空度、工作本底真空度工作真空度、工作氣氛;漏率、抽空時間、恢復真空時間。工作(烘烤)溫度;(熱處理爐、凍干機)膜厚不均勻程度;功率;*高電壓。 真空鍍膜...
【真空鍍膜機之電鍍工藝】利用電解作用使零件表面附著一層金屬膜的工藝,從而起到防止金屬氧化,提高耐磨性、導電性、反光性、抗腐蝕性及增進美觀等作用,不少硬幣的外層亦為電鍍。 適用材料: 1.da多數金屬可以進行電鍍 但是不同的金屬具有不同等級的純度和電鍍效率。其中*常見的有:錫,鉻,鎳,銀,金和銠; 2.*常用于電鍍的塑料為ABS。 3.鎳金屬不可用于電鍍接觸皮膚的產品,因為鎳對皮膚有刺激性且有毒性。 工藝成本:無模具費用,但需要夾具對零件進行固定/時間成本取決于溫度和金屬種類/人力成本(中-高),取決于具體電鍍件的種類,例如銀器和珠寶的電鍍就需要極高的熟練工人進行操作,因為其對外觀和耐久...
【真空鍍膜之材料表面處理】表面處理:是在基體材料表面上人工形成一層與基體的機械、物理和化學性能不同的表層的工藝方法。 表面處理的目的是滿足產品的耐蝕性、耐磨性、裝飾或其他特種功能要求。我們比較常用的表面處理方法是,機械打磨,化學處理,表面熱處理,噴涂表面,表面處理就是對工件表面進行清潔、清掃、去毛刺、去油污、去氧化皮等。 常用表面處理的工藝有:真空電鍍、電鍍工藝、陽極氧化、電解拋光、移印工藝、鍍鋅工藝、粉末噴涂、水轉印、絲網印刷、電泳等。 真空鍍膜機抽真空步驟。安徽多功能真空鍍膜機【真空鍍膜設備維修保養(yǎng)技術】一、當鍍膜設備工作完成到兩百個鍍膜的時候,拆出密封圈,及時清潔設備環(huán)境(室內環(huán)境)。如...
【真空鍍膜機之真空泵的安裝和指導】真空泵安裝指導 1、泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養(yǎng)。 2、泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保泵運轉平穩(wěn),振動小。 3、泵與系統的連接管道應密封可靠,對小泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠,對小泵可采用真空膠管連接,管道管徑不得小于泵吸氣口徑,且要求管路短而少彎頭。(焊接管路時應qing除管道中焊渣,嚴禁焊渣進入泵腔。) 4、在連接管路中,用戶可在泵進氣口上方安裝閥門及真空計,隨時可檢查泵的極限壓力。 5、按電動機標牌規(guī)定連接電源,并接地線和安裝合適規(guī)格的熔斷器及熱繼電器。 6、...
【真空鍍膜設備的正常工作條件】 1、環(huán)境溫度:10~30℃ 2、相對濕度:不da于70% 3、冷卻水進水溫度:不高于25℃ 4、冷卻水質:城市自來水或質量相當的水 5、供電電壓:380V,三相50Hz或220V,單相50Hz(由所用電器需要而定),電壓波動范圍342~399V或198V~231V,頻率波動范圍49~51Hz; 6、設備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應在產品使用說明書上寫明。 7、設備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵?;驓怏w存在。 此外,真空鍍膜設備所在實驗室或車間應保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質涂漆地面、無塵...
【真空鍍膜設備維修保養(yǎng)技術】一、當鍍膜設備工作完成到兩百個鍍膜的時候,拆出密封圈,及時清潔設備環(huán)境(室內環(huán)境)。如何清潔保養(yǎng)?首先我們要使鍍上去的膜層掉落,同時釋放氫氣,清洗過程中要注意所使用到的溶液會灼傷人體的皮膚,所以通常我們要小心謹慎用堿飽和溶液不斷來回清洗真空適合內部(內壁),再用清水洗刷真空室,并通過抹布沾上汽油擦拭抽閥里面的污漬。 二、當閥泵連續(xù)工作一個月之后,為保持設備的正常運轉我們需要更換油。將泵啟動,擰開放油螺栓,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,觀察油視鏡倒入新油加到一定額度,平常換油時應將油蓋打開,有需要時用布擦干凈箱內污垢。 三、擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽的...
【真空鍍膜之金屬拉絲】金屬拉絲:是指通過研磨產品在工件表面形成線紋,并且起到裝飾效果的一種表面處理手段。根據拉絲后紋路的不同可分為:直紋拉絲、亂紋拉絲、波紋、旋紋 適用材料:幾乎所有的金屬材料都可以使用金屬拉絲工藝 工藝成本:工藝方法簡單,設備需求簡單,材料消耗比較少,成本比較低廉,經濟效益尤其高 環(huán)境影響:純金屬制品,表面無油漆等任何化學化工物質,600度高溫不燃燒,不會產生有毒氣體,符合消防標準的環(huán)保要求 成都真空鍍膜機的生產廠家。吉林真空鍍膜機報價【真空鍍膜的膜層結構分布】基材:ABS、PC、ABS+PC、PP、PPMA、POM等樹脂類均可成型真空電鍍, 要求底材為純原料,電鍍級別更佳...
【真空鍍膜機之真空電鍍】真空電鍍是一種物理沉積現象。即在真空狀態(tài)下注入氬氣,氬氣撞擊靶材,靶材分離成分子被導電的貨品吸附形成一層均勻光滑的仿金屬表面層。 適用材料: 1、很多材料可以進行真空電鍍,包括金屬,軟硬塑料,復合材料,陶瓷和玻璃。其中*常見用于電鍍表面處理的是鋁材,其次是銀和銅。 2、自然材料不適合進行真空電鍍處理,因為自然材料本身的水分會影響真空環(huán)境。 工藝成本:真空電鍍過程中,工件需要噴涂,裝載,卸載和再噴涂,所以人力成本相當高,但是也取決于工件的復雜度和數量。 環(huán)境影響:真空電鍍對環(huán)境污染很小,類似于噴涂對環(huán)境的影響。 成都真空鍍膜機的生產廠家。陜西實驗室真空鍍膜機【真空鍍膜...
【真空鍍膜機電控柜的操作】 1、玻璃真空鍍膜機開水泵、氣源 2、開總電源 3、開維持泵、真空計電源,真空計檔位置V1位置,等待其值小于10后,再進入下一步操作。約需5分鐘。 4、開機械泵、予抽,開渦輪分子泵電源、啟動,真空計開關換到V2位置,抽到小于2為止,約需20分鐘。 5、觀察渦輪分子泵讀數到達250以后,關予抽,開前機和高閥繼續(xù)抽真空,抽真空到達一定程度后才能開右邊的高真空表頭,觀察真空度。真空到達2×10-3以后才能開電子qiang電源。 成都國泰真空鍍膜機怎么樣?上海二手卷繞式真空鍍膜機【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】 將工件放置于常壓或真空中加熱.促使其表面上的揮發(fā)雜質蒸發(fā)來達...
【真空鍍膜機沖洗工藝之反應氣體沖洗】這種方法特別適用于da型超高不銹鋼真空系統的內部洗(去除碳氫化合物污染)。通常對于某些da型超高真空系統的真空室和真空元件,為了獲得原子態(tài)的清潔表面,消除其表面污染的標準方法是化學清洗,真空爐焙燒、輝光放電清洗及原能烘烤真空系統等方法。以上的清洗和除氣方法常用于真空系統安裝前及裝配期間。在真空系統安裝后(或系統運行后),由于真空系統內的各種零部件已經被固定,這時對它們進行除氣處理就很困難,一旦系統受到(偶然)污染(主要是da原子數的分子如碳氫化合物的污染),通常要拆卸后重新處理再安裝.而用反應氣體工藝,可以進行原位在線除氣處理.有效地除去不銹鋼真空室內的碳氫...
【真空鍍膜的膜層結構分布】基材:ABS、PC、ABS+PC、PP、PPMA、POM等樹脂類均可成型真空電鍍, 要求底材為純原料,電鍍級別更佳,不可加再生材; 底漆:UV底漆,對基材表面做預處理,為膜層的附著提供活性界面,底漆厚度一般在5-10um,特殊情況可酌情加厚; 膜層:靶材蒸發(fā)的結果,VM膜層可導電,NCVM鍍層不導電,且抗干擾性效果很好,膜層厚度0.3um以下。 面漆:面漆利用三基色原理可與色漿搭配出各類顏色,同時對真空膜層起保護作用,再加上UV、PU的表面裝飾,效果更漂亮,厚度 一般在8-10um,特殊情況可酌情加厚 。 關于真空鍍膜機,你知道多少?湖南二手蒸發(fā)真空鍍膜機【真空鍍膜機...
【真空鍍膜設備的正常工作條件】 1、環(huán)境溫度:10~30℃ 2、相對濕度:不da于70% 3、冷卻水進水溫度:不高于25℃ 4、冷卻水質:城市自來水或質量相當的水 5、供電電壓:380V,三相50Hz或220V,單相50Hz(由所用電器需要而定),電壓波動范圍342~399V或198V~231V,頻率波動范圍49~51Hz; 6、設備所需的壓縮空氣、液氮、冷熱水等壓力、溫度、消耗量均應在產品使用說明書上寫明。 7、設備周圍環(huán)境整潔、空氣清潔,不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵埃或氣體存在。 此外,真空鍍膜設備所在實驗室或車間應保持清潔衛(wèi)生。地面為水磨石或木質涂漆地面、無塵...
【真空鍍膜設備維修保養(yǎng)技術】一、當鍍膜設備工作完成到兩百個鍍膜的時候,拆出密封圈,及時清潔設備環(huán)境(室內環(huán)境)。如何清潔保養(yǎng)?首先我們要使鍍上去的膜層掉落,同時釋放氫氣,清洗過程中要注意所使用到的溶液會灼傷人體的皮膚,所以通常我們要小心謹慎用堿飽和溶液不斷來回清洗真空適合內部(內壁),再用清水洗刷真空室,并通過抹布沾上汽油擦拭抽閥里面的污漬。 二、當閥泵連續(xù)工作一個月之后,為保持設備的正常運轉我們需要更換油。將泵啟動,擰開放油螺栓,使泵內的舊油完全排放出來。擰回放油螺栓,觀察油視鏡倒入新油加到一定額度,平常換油時應將油蓋打開,有需要時用布擦干凈箱內污垢。 三、擴散泵連續(xù)使用6個月以上,抽的...
【真空鍍膜機清洗工藝之真空加熱清洗】 將工件放置于常壓或真空中加熱.促使其表面上的揮發(fā)雜質蒸發(fā)來達到清洗的目的,這種方法的清洗效果與工件的環(huán)境壓力、在真空中保留時間的長短、加熱溫度、污染物的類型及工件材料有關。其原理是加熱工件.促使其表面吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用增強。解吸增強的程度與溫度有關。在超高真空下,為了得到原子級清潔表面,加熱溫度必高于450度才行.加熱清洗方法特別有效。但有時,這種處理方法也會產生副作用。由于加熱的結果,可能發(fā)生某些碳氫化合物聚合成較da的團粒,并同時分解成碳渣。 真空鍍膜機廠家排名。貴州連續(xù)真空鍍膜機【真空鍍膜之金屬拉絲】金屬拉絲:是指通過研磨產品...
【真空鍍膜機操作工藝流程】首先開水、電、氣→總電源→開維持泵→開擴散泵加熱→開粗抽泵→開預抽閥→關預抽閥→開粗抽閥→開羅茨泵→如有離子轟擊,開轟擊30秒,關轟擊→開真空計→當真空到6.0~7.0pa時,關粗抽閥→開前置閥→開精抽閥,當真空達到7x10-3pa,開轉架→開始鍍膜操作→鍍膜完畢后,關閉真空計、離子源→關精抽閥,前置閥→關羅茨泵→開抽氣閥,取件→上料,反復開始操作。 特別注意: 1.設備停用時,鍍膜室要保持真空狀態(tài),減少內表面氣體的吸附,防止氧化。 2.冷卻水通道場下才能對擴散泵進行加熱,未經充分冷卻的泵不得與da氣接觸,防止氧化。 3.要保證機器內擴散泵和機械泵的油定期檢查和更換。...
【機械泵分類】機械泵有很多種,常用的有滑閥式、活塞往復式、定片式和旋片式四種類型。 機械泵是從da氣開始工作的,它的主要參數有極限真空,抽氣速率,此為設計與選用機械泵的重要依據。單級泵可以將容器從da氣抽到1.0*10-1PA的極限真空,雙級機械泵可以將容器從da氣抽到6.7*10-2帕,甚至更高。抽氣速率,是指旋片泵按額定轉數運轉時,單位時間內所能排出氣體的體積,可以用下公式計算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸氣結束時空腔截面積,L表示空腔長度,系數表示轉子每旋轉一周有兩次排氣過程,Vs表示當轉子處于水平位置的時候,吸氣結束,此時空腔內的體積*da,轉速為n。機械泵排氣的效果還...