微型化真空泵技術(shù)及發(fā)展本節(jié)簡要介紹一些研究進展較為明顯,或當前關(guān)注度較高的微型化真空泵,主要包括膜片泵、射流/擴散泵、努森泵和離子泵。2.1微型化膜片泵典型的單級膜片泵通常由一個腔體、一個泵膜、兩個閥門和一個致動器組成,它利用泵膜的往復運動營造腔體容積的周期性變化,利用單向閥門控制氣體流向,實現(xiàn)氣流的定向引入、輸出。膜片泵的原理、結(jié)構(gòu)相對簡單,膜片材料可使用硅、電介質(zhì)和多種聚合物,驅(qū)動機制可采用靜電、壓電、電滲、氣動和磁力等[16]。關(guān)鍵部件的材料及加工都兼容MEMS工藝,使得膜片泵比較容易和其他微型器件集成,構(gòu)建片上型系統(tǒng)[17]。無油活塞式真空泵是一種活塞式真空泵,用來抽除密封容器中的氣體,以獲取真空的基本設(shè)備。內(nèi)蒙古供應(yīng)商真空泵
無油活塞泵:它是一種利用活塞往復運動產(chǎn)生的泵吸氣的真空設(shè)備,其工作原理是通過活塞的上下往復運動,使氣體在泵筒內(nèi)產(chǎn)生壓縮和膨脹,從而產(chǎn)生負壓來吸氣。其廣泛應(yīng)用在醫(yī)療行業(yè)、電子制造、化工行業(yè)和食品行業(yè)等自動化設(shè)備領(lǐng)域。無需油,符合工業(yè)環(huán)保要求無油活塞真空泵在整個工作過程中,無需使用潤滑油,無油活塞真空泵氣缸內(nèi)壁特殊處理,形成自潤滑,不會產(chǎn)生油霧和廢氣,有效減少了對環(huán)境的污染,相對傳統(tǒng)油式真空泵比較環(huán)保節(jié)能。在電機材質(zhì)和設(shè)計上也獨具匠心,電機能效比高,極低發(fā)熱量,提高電機的運行效率和降低能源消耗,有效提高了節(jié)能環(huán)保的效果。新疆真空泵調(diào)整定制型(OEM)蠕動泵:體積小,適合精度不高的各種環(huán)境下的小流量液體輸送。
微型化真空系統(tǒng)需要相互協(xié)調(diào)的全微型化元器件,其中比較主要的外圍器件就是真空泵,真空泵微型化分析按照工作原理不同,真空泵主要分為氣體輸運泵和氣體捕集泵。輸運泵通過氣體不斷吸入和排出達到抽氣目的,常見的有膜片泵、旋片泵、擴散泵和分子泵;捕集泵通過氣體吸附劑或低溫表面吸附、捕集氣體實現(xiàn)抽氣,主要包括離子泵、升華泵和低溫泵等[9]。宏觀真空泵抽氣速率高、極限真空高、抽氣效率高,微型化后,由于微加工工藝兼容性原因,可以預(yù)期到其性能會下降。同時研究表明,并非所有宏觀真空泵都適合微型化。
具體到常見的真空泵類型,包括但不限于以下幾種:變?nèi)莘e式真空泵:包括往復真空泵、旋片真空泵、滑閥真空泵、水環(huán)真空泵、羅茨真空泵等。這類泵通過改變泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣的過程。噴射真空泵:包括水噴射真空泵、蒸汽噴射真空泵、汽水串聯(lián)噴射真空泵、汽水組合噴射真空泵等。這類泵利用文丘里效應(yīng)的壓力降產(chǎn)生的高速射流把氣體輸送到出口的一種動量傳輸泵。其他類型:如液環(huán)真空泵(水環(huán)真空泵)、干式真空泵、分子真空泵、牽引分子泵、水噴射真空泵、氣體噴射泵、蒸汽噴射泵、擴散泵等。電動真空泵:這是一種多用途、多功能的微型真空泵,具有高壓力、低噪音的特點,適用于多種應(yīng)用場景。按用途分類:主泵、粗抽泵、前級泵、維持泵、粗/低真空泵、高真空泵、超高真空泵、增壓真空泵等,這些分類基于真空泵在真空系統(tǒng)中的角色和適用范圍。按結(jié)構(gòu)特點分類:機械式真空泵和射流式真空泵兩種,機械式真空泵通過機械的運動來不斷改變真空泵的吸氣容腔容積從而獲得真空。氣體捕集泵:包括吸附泵、冷阱、低溫泵、升華泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵等,這些類型的真空泵通過使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減少了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達到抽氣目的。手持型蠕動泵:可實現(xiàn)野外取樣在線監(jiān)測取樣,可采集高粘度液體、含顆粒液體分層取樣,操作簡便且易于清洗。
微型隔膜泵與微型蠕動泵的區(qū)別;一、工作原理微型隔膜泵的工作原理是通過隔膜的往復運動來改變泵腔的容積,從而實現(xiàn)吸入和排出液體的目的。這種泵通常具有簡單的結(jié)構(gòu)和較高的可靠性,因此在許多場合下都被優(yōu)先考慮。相比之下,微型蠕動泵的工作原理則是通過滾輪或滑塊對軟管進行交替壓縮和釋放,使軟管內(nèi)的液體產(chǎn)生定向流動。這種泵的特點是具有較好的密封性和自吸能力,但在結(jié)構(gòu)上相對復雜一些。二、性能特點微型隔膜泵的主要優(yōu)點在于其結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕,以及較高的流量和壓力范圍。此外,它還具有較好的自吸能力和干運轉(zhuǎn)能力,因此在一些需要高可靠性和高適應(yīng)性的場合下表現(xiàn)出色。微型蠕動泵的優(yōu)點則在于其良好的密封性和低剪切力。由于蠕動泵的工作原理是通過交替壓縮和釋放軟管來實現(xiàn)液體輸送,因此它對液體的攪動非常小,特別適合于輸送一些對剪切力敏感的液體。此外,蠕動泵還具有較好的自吸能力和可逆性,可以通過反轉(zhuǎn)滾輪或滑塊的方向來實現(xiàn)液體的反向流動。為了減少脈動,許多蠕動泵提供彈簧加載機制以確保平穩(wěn)地泵送動作。全國進口真空泵
用活塞往復運動產(chǎn)生泵吸氣的真空設(shè)備通過活塞的上下往復運動氣體在泵筒內(nèi)產(chǎn)生壓縮膨脹,從而產(chǎn)生負壓吸氣。內(nèi)蒙古供應(yīng)商真空泵
無油活塞式真空泵是高新科技產(chǎn)品。工作原理是:連桿通過軸承與偏心壓裝在一起,偏心輪鎖緊在電機軸上,由于轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn),帶動連桿往復運動,從而實現(xiàn)空氣的吸入、壓縮和排出過程。無油活塞式真空泵具有以下特點:--完全無油工作--高效節(jié)能--長壽命--靜音--低升溫--運行平穩(wěn)--高可靠性--體積小,重量輕--便攜式,可攜帶外出作業(yè)--結(jié)構(gòu)簡單,易維護--外形美觀。無油活塞式真空泵主要應(yīng)用在以下領(lǐng)域:醫(yī)療設(shè)備,科研設(shè)備,實驗室,干燥設(shè)備,半導體工業(yè),汽車工業(yè),印刷機械,包裝機械,食品保鮮,水產(chǎn)養(yǎng)殖,水凈化處理,分析儀器,廣告制作,設(shè)備維修,生物制藥,通訊電子,石油化工,環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng),高原地區(qū)制氧等領(lǐng)域。內(nèi)蒙古供應(yīng)商真空泵