臺(tái)州內(nèi)置泵體真空烘箱

    COB生產(chǎn)流程：晶粒進(jìn)料→晶粒檢測(cè)→清洗PCB→點(diǎn)膠→粘晶粒→烘烤→打線→過境→OTP燒錄→封膠→測(cè)試→QC抽檢→入庫。其中烘烤這一環(huán)節(jié)是很重要的一步之一，烘烤的目的是將前一道的工序中的膠烘干，使得IC在PCB上粘牢，以確保下一道工序中IC在打線過程中不會(huì)移動(dòng)。不同的膠需要的烘烤時(shí)間和溫度也是不一樣的。缺氧膠烘烤溫度90度烘烤10分鐘，銀膠烘烤溫度120度烘烤90分鐘，紅膠烘烤溫度120度烘烤30分鐘。無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Prebaking)、涂膠后的軟烘焙Softbaking)，曝光、顯影后的堅(jiān)膜硬烘（Hardbaking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。 整體成型硅橡密封圈，高真空度密封。臺(tái)州內(nèi)置泵體真空烘箱

    為獲得平坦而均勻的光刻膠涂層并使光刻膠與晶片之間有良好的黏附性，通常在涂膠前對(duì)晶片進(jìn)行預(yù)處理。預(yù)處理第一步常是脫水烘烤，在真空或干燥氮?dú)獾臋C(jī)臺(tái)中，以150～200℃烘烤。工藝目的是除去晶片表面吸附的水分，在此溫度下，晶片表面大約保留了一個(gè)單分子層的水。涂膠后，晶片須經(jīng)過一次烘烤，稱之軟烘或前烘。工藝作用是除去膠中大部分溶劑并使膠的曝光特性固定。通常，軟烘時(shí)間越短或溫度越低會(huì)使得膠在顯影劑中的溶解速率增加且感光度更高，但對(duì)比度會(huì)有降低。實(shí)際上軟烘工藝需要通過優(yōu)化對(duì)比度而保持可接受感光度的試湊法用實(shí)驗(yàn)確定，典型的軟烘溫度是90～100℃，時(shí)間從用熱板的30秒到用烘箱的30分鐘。在晶片顯影后，為了后面的高能工藝，如離子注入和等離子體刻蝕，也須對(duì)晶片進(jìn)行高溫烘烤，稱之后烘或硬烘。這一工藝目的在于：減少駐波效應(yīng)；激發(fā)化學(xué)增強(qiáng)光刻膠PAG產(chǎn)生的酸與光刻膠上的保護(hù)基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)并移除基團(tuán)使之能溶解于顯影液。 上海防止氧化真空烘箱安全警報(bào)抽完真空后，先將真空閥門關(guān)閉，然后再將真空泵電源關(guān)閉或移除。

    本實(shí)用新型的工作原理：首先將不同熱量需求的原料放置在相應(yīng)的支撐板13上，然后將熱水源與每一個(gè)進(jìn)水管6以及出水管8相連通，熱水同時(shí)從每一個(gè)進(jìn)水管6進(jìn)入到每一層對(duì)應(yīng)的導(dǎo)流管10內(nèi)，并對(duì)支撐板13上的原料進(jìn)行烘干，每一個(gè)導(dǎo)流管10內(nèi)的熱水經(jīng)對(duì)應(yīng)的出水管8流出，并回到熱水源中進(jìn)行加熱以便再次循環(huán)使用。本實(shí)用新型的有益效果：（1）本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，可對(duì)不同原料進(jìn)行加熱烘干，烘干效果好、烘干效率高、適用范圍廣。（2）本實(shí)用新型中每一個(gè)進(jìn)水管6與上層對(duì)應(yīng)導(dǎo)流管10之間、上下相鄰兩個(gè)導(dǎo)流管10之間、下層每一個(gè)導(dǎo)流管10與對(duì)應(yīng)出水管8之間均采用螺紋式快速連接，操作簡單，使用方便，連接牢靠，保證了其內(nèi)熱水的穩(wěn)定流動(dòng)，從而提高了烘干效率。（3）本實(shí)用新型在每一個(gè)進(jìn)水管6、出水管8以及導(dǎo)流管10內(nèi)均沿其長度方向錯(cuò)位豎直設(shè)有上隔板11和下隔板12，用于降低熱水的流速，從而提高了烘干效果。

從結(jié)構(gòu)上分析，一般的干燥箱外殼都是采用冷軋鋼板制造，但是從厚度上將，差別卻很大。由于真空干燥箱里面的真空環(huán)境，為防止大氣壓壓壞箱體，其外殼厚度要較鼓風(fēng)干燥箱大些許，一般是選擇鋼板越厚質(zhì)量越好，使用壽命也越長。為便于觀察，在干燥箱的箱門都設(shè)有玻璃窗，一般有鋼化玻璃和鑲嵌門上的普通玻璃，杭州宏譽(yù)智能科技有限公司生產(chǎn)干燥箱箱門全部采用鋼化玻璃，雖價(jià)格稍貴，但是外觀漂亮，對(duì)于操作人員的安全更是有力的保障。依據(jù)真空泵的性能，抽到壓力表為真空泵的極限值為準(zhǔn)；

    本實(shí)用新型的一種新型的真空烘箱，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：包括箱體、蓋板、底板、側(cè)板、連接裝置、進(jìn)水管、出水管和導(dǎo)流管；所述箱體與所述蓋板相匹配，且二者之間螺接形成一水平設(shè)置的中空長方體結(jié)構(gòu)；在所述箱體的內(nèi)底面還水平螺接設(shè)有底板，且在所述底板的上表面左右兩端還豎直對(duì)稱固定設(shè)有側(cè)板；在兩個(gè)所述側(cè)板之間還呈矩陣依次間隔設(shè)有數(shù)個(gè)導(dǎo)流管，每一所述導(dǎo)流管均為水平設(shè)置的中空?qǐng)A柱體結(jié)構(gòu)，且其兩端分別水平延伸出兩個(gè)所述側(cè)板；上下相鄰兩個(gè)所述導(dǎo)流管的兩端之間分別錯(cuò)位通過連接裝置密封連接，并形成數(shù)個(gè)豎直設(shè)置的蜿蜒狀結(jié)構(gòu)；在上面一層所述導(dǎo)流管的上方還水平間隔設(shè)有數(shù)個(gè)進(jìn)水管，每一所述進(jìn)水管均為中空的l形圓管結(jié)構(gòu)，且其短邊一端均豎直向上延伸出所述蓋板，每一所述進(jìn)水管的長邊一端均依次水平延伸出兩個(gè)所述側(cè)板，并分別通過連接裝置與上面一層對(duì)應(yīng)位置所述導(dǎo)流管的一端密封連接；在下面一層所述導(dǎo)流管的下方還水平間隔設(shè)有數(shù)個(gè)出水管，每一所述出水管均為中空的l形圓管結(jié)構(gòu)，且其短邊一端均豎直向下延伸出所述箱體，每一所述出水管的長邊一端均依次水平延伸出兩個(gè)所述側(cè)板，并分別通過連接裝置與下面一層對(duì)應(yīng)位置所述導(dǎo)流管的一端密封連接。真空烘箱，是將干燥物料處于負(fù)壓條件下進(jìn)行干燥的一種箱體式干燥設(shè)備。舟山噪音小真空烘箱調(diào)試調(diào)整

真空泵內(nèi)置泵體，噪音小易維護(hù)。臺(tái)州內(nèi)置泵體真空烘箱

真空烘箱有以下特點(diǎn)：短加熱時(shí)間，與傳統(tǒng)干燥烘箱比加熱時(shí)間減少50%以上。真空烘箱因?yàn)槭怯呻娏μ峁崮?，而濕的物品是?huì)導(dǎo)電的，故在使用上宜小心不要有漏電的現(xiàn)象發(fā)生，故一般烘箱都要接地使用，以保安全。若沒有地線也要確認(rèn)烘箱沒有漏電的現(xiàn)象；若有輕微的漏電現(xiàn)象，可試著將插座拔起后將插腳以相反方向再插入，若沒有漏電現(xiàn)象可小心使用，若仍有漏電現(xiàn)象則應(yīng)立即停用。廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥,冶金,電子五金,食品,化工,PCB烘烤等等行業(yè)。臺(tái)州內(nèi)置泵體真空烘箱

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