上海塵埃粒子潔凈室檢測第三方檢測機構

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置，并宜布置在上風側；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快，電子工廠在實際生產(chǎn)中，在線維修及調試、邊生產(chǎn)邊增加設備擴大生產(chǎn)能力的情況很多，因此在做工藝布局時，應根據(jù)具體情況，考慮這些因素，留出相應的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應技術措施，如人的聯(lián)系應采用氣閘室或空氣吹淋室；大物件的運送也可以采用氣閘室，一般物件的運送可采用傳遞窗；穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等。設置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應相近。上海塵埃粒子潔凈室檢測第三方檢測機構

1)單層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設有上下技術夾層，上技術夾層內(nèi)設置空氣過濾裝置、風管和公用動力管線；下技術夾層為回風道。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室。2)多層潔凈室，在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設有送風靜壓箱或循環(huán)空氣處理設備或空氣過濾單元機組等的上技術層；在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動地板以下設有回風靜壓箱或輔助生產(chǎn)設備或公用動力設備、管線等的下技術層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術層根據(jù)需要可為一層或二層。浙江純化水檢測潔凈室檢測技術好對潔凈室的送風必須是有很高潔凈度的空氣。

1管道連接應采用焊接，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊，以對接焊或承接焊連接；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管。8.3.3管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據(jù)輸送物料性質、設計工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環(huán)境的**溫度。保溫層外表面應采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料，并應平整、光潔，宜采用金屬外殼保護。

6.3.1潔凈廠房的建筑圍護結構和室內(nèi)裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設計防火規(guī)范》GB50222的有關規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應大于50，材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，且表面應平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應減少凹凸面，2當采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。中效或高中效空氣過濾器宜集中設置在空調箱的正壓段。

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關的房間。2干管應敷設在上、下技術夾層或技術夾道內(nèi)。3易燃、易爆、有毒物質管道應明敷。4當易燃、易爆、有毒物質管道敷設在技術夾層或技術夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警、通風措施。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。8.1.3工業(yè)管道設計應符合下列規(guī)定：1應按輸送介質的物化性質，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應盡量短。3應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。4管道系統(tǒng)應設必需的吹除口、放凈口和取樣口。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施。8.1.5可燃氣體管道、氧氣管道的末端或比較高點均應設置放散管。放散管引至室外應高出屋脊1m，并應有防雨、防雜物侵入的措施。

單向流潔凈室是：氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個室截面上通過的潔凈室。浙江實驗室環(huán)境潔凈室檢測目的

凈化空調系統(tǒng)設計應合理利用回風。上海塵埃粒子潔凈室檢測第三方檢測機構

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調試時，或現(xiàn)有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。上海塵埃粒子潔凈室檢測第三方檢測機構