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超精密平面光柵編碼器位移測(cè)量技術(shù)是32～7nm節(jié)點(diǎn)浸沒式光刻機(jī)的中心技術(shù)。通過分析浸沒式光刻機(jī)平面光柵位置系統(tǒng)的需求和布局,提出了光刻機(jī)專門超精密平面光柵編碼器的基本需求。針對(duì)現(xiàn)有的光柵編碼器,開展了基本測(cè)量光路方案、相位探測(cè)方案、分辨率增強(qiáng)光路方案、離軸/轉(zhuǎn)角允差光路方案、死程誤差抑制光路方案的綜述分析,提出了現(xiàn)有設(shè)計(jì)方案面向光刻機(jī)應(yīng)用所需要解決的關(guān)鍵問題。面向亞納米級(jí)測(cè)量精度的需求,針對(duì)光柵編碼器的儀器誤差,對(duì)周期非線性誤差、死程誤差、熱漂移誤差和波前畸變誤差進(jìn)行了綜述分析,提出了平面光柵編碼器實(shí)現(xiàn)亞納米精度所需要解決的關(guān)鍵問題相對(duì)型旋轉(zhuǎn)編碼器的機(jī)械安裝有高速端安裝、低速端安裝、輔助機(jī)械裝置安裝等多種形式。鎮(zhèn)江370編碼器批發(fā)價(jià)

　多圈肯定式編碼器。編碼器生產(chǎn)廠家運(yùn)用鐘表齒輪機(jī)械的原理，當(dāng)中心碼盤旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過齒輪傳動(dòng)另一組碼盤（或多組齒輪，多組碼盤），在單圈編碼的基礎(chǔ)上再增加圈數(shù)的編碼，以擴(kuò)大編碼器的測(cè)量范圍，這樣的肯定編碼器就稱為多圈式肯定編碼器，它同樣是由機(jī)械位置確定編碼，每個(gè)位置編碼一個(gè)不重復(fù)，而無需記憶。多圈編碼器另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是由于測(cè)量范圍大，實(shí)際使用往往富裕較多，這樣在安裝時(shí)不必要費(fèi)勁找零點(diǎn)，將某一中間位置作為起始點(diǎn)就可以了，而很大簡化了安裝調(diào)試難度。多圈式肯定編碼器在長度定位方面的優(yōu)勢(shì)明顯，已經(jīng)越來越多地應(yīng)用于工控定位中。沈陽絕對(duì)式編碼器批發(fā)價(jià)編碼器的增長帶來了新的挑戰(zhàn)，也給行業(yè)帶來了新的壓力。

光電編碼器是一種通過光電轉(zhuǎn)換將輸出軸上的機(jī)械幾何位移量轉(zhuǎn)換成脈沖或數(shù)字量的傳感器。這是目前市場(chǎng)上應(yīng)用較多的傳感器，光電編碼器是由光源、光碼盤和光敏元件組成的。光柵盤是在一定直徑的圓板上等分地開通若干個(gè)長方形孔。由于光電碼盤與電動(dòng)機(jī)同軸，電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)時(shí)，光柵盤與電動(dòng)機(jī)同速旋轉(zhuǎn)，經(jīng)發(fā)光二極管等電子元件組成的檢測(cè)裝置檢測(cè)輸出若干脈沖信號(hào)，通過對(duì)計(jì)算每秒光電編碼器輸出脈沖的個(gè)數(shù)就能夠反映出當(dāng)前電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速。

為了減小光電編碼器的體積,提高航天級(jí)光電編碼器的精度,設(shè)計(jì)了一種小型高精度的航天級(jí)光電編碼器。首先,編碼器采用散裝形式,編碼器與機(jī)構(gòu)共用一個(gè)主軸系,碼盤直接安裝在機(jī)構(gòu)的主軸上,碼盤隨機(jī)構(gòu)一起轉(zhuǎn)動(dòng),很大提高了整個(gè)系統(tǒng)的精度。然后,編碼器采用主備一體化設(shè)計(jì),一個(gè)機(jī)械主體,電子學(xué)系統(tǒng)冷備份,很大的減小了編碼器的體積。較后,編碼器數(shù)據(jù)處理程序集成到主系統(tǒng)FPGA中的一個(gè)IP核中,極大的減小了處理電路的尺寸,并提高了電路的可靠性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本編碼器分辨力為2.5″,外形尺寸Φ70×40mm,角度數(shù)據(jù)較快更新時(shí)間為10μs,精度為均方差主σ=8.68″,備σ=9.86″,完全滿足航天儀器的使用要求。絕對(duì)式編碼器的分辨率由其輸出字的位數(shù)決定。

自編碼器的主要應(yīng)用有降維(dimensionality reduction)和信息檢索(information retrieval)。降維前面已經(jīng)提到，通過encoder我們可以將較復(fù)雜的輸入編碼到維度較低的空間中。信息檢索主要是指從數(shù)據(jù)庫中找到與用戶的查詢條目相近的條目，如果我們利用Autoencoder有效的將每個(gè)條目降維并用二進(jìn)制編碼每個(gè)維度上的值，則我們可以將數(shù)據(jù)庫中的所有條目產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的在低維空間上的哈希碼，我們可以有效的提取與用戶的查詢相同的哈希碼，也可以通過改變某幾個(gè)位上的比特值來尋找與用戶查詢相類似的條目，這種方法稱為semantic hashing。某些增量式編碼器也能夠產(chǎn)生另一種被稱作“標(biāo)記”、“索引”或“Z通道”的信號(hào)。光電編碼器廠家推薦

編碼器一般與軸相聯(lián),編碼器的脈沖量是固定的。鎮(zhèn)江370編碼器批發(fā)價(jià)

旋轉(zhuǎn)編碼器的應(yīng)用范圍：矢量電機(jī)和伺服電機(jī)領(lǐng)域：矢量電機(jī)和伺服電機(jī)可以在很寬的范圍內(nèi)進(jìn)行速度、轉(zhuǎn)矩以及位置控制都要依賴電機(jī)輸出軸上的旋轉(zhuǎn)編碼器；工程機(jī)械領(lǐng)域：大型工程機(jī)械對(duì)可靠的速度和位置檢測(cè)的需求越來越高，尤其在重型車輛行業(yè)。旋轉(zhuǎn)編碼器普遍用于電子轉(zhuǎn)向助力系統(tǒng)、車輛速度檢測(cè)以及混合動(dòng)力汽車；工業(yè)自動(dòng)化控制生產(chǎn)線領(lǐng)域：工廠的自動(dòng)化生產(chǎn)線需要準(zhǔn)確的速度和方向信息保證電機(jī)正常運(yùn)行；工業(yè)機(jī)器人領(lǐng)域：機(jī)器人的每個(gè)關(guān)節(jié)都需要準(zhǔn)確的控制，以保證整個(gè)機(jī)器人的協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)或行走，所以每個(gè)關(guān)節(jié)都需要一個(gè)旋轉(zhuǎn)編碼器進(jìn)行協(xié)調(diào)控制。石油天然氣行業(yè)：石油天然氣行業(yè)是高危行業(yè)，需要較高可靠性、較好密封性的高標(biāo)準(zhǔn)編碼器，主要用于鉆臺(tái)電機(jī)、轉(zhuǎn)臺(tái)和污泥泵的測(cè)速。如加油機(jī)上的旋轉(zhuǎn)編碼器用于測(cè)流量、計(jì)量加油量。鎮(zhèn)江370編碼器批發(fā)價(jià)