陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤)，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大，部份面積吸附， 同時也可作氣浮平臺，普遍應用半導體、面板、雷射制程及非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應用只限用于平坦，無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。在金屬加工領域，這是一項安全可靠的工件傳輸。自動化移載、物件吸取、定位、精密網(wǎng)板印刷用工作臺，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力，將工作物（包括晶圓、玻璃、PET 膜或其它薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上，利用真空吸力使工作物固定，進行清洗、切割、研磨、網(wǎng)版印刷及其它加工程序。微孔陶瓷吸盤的熱容量小，它本身不蓄熱，可以直接散熱。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
在天然物質(zhì)和人造物質(zhì)中，多孔體特別多，比如：水成巖、水鋁英石、粘土、木材等建筑材料，無機和有機保溫材料，天然纖維等都是多孔體。工業(yè)材料中的催化劑、硅膠、活性炭等吸附劑，過濾劑，絕熱材料等都利用了多孔性質(zhì)。因此，我們認為，掌握多孔材料的結構和性質(zhì)是非常重要的。為了正確地分析出材料孔容孔徑，就需要對材料孔結構有著清楚的認識，選擇正確的預處理方式（溫度、氛圍、真空度等）及合適的分析模型，進而得到準確科學的實驗結果。多孔陶瓷材料由于其特殊的結構，使其具有高比表面積，高孔隙率，高吸附性等諸多優(yōu)異的理化性能，因而在半導體、化工、環(huán)保、功能材料等領域均有普遍應用，氣體吸附法是表征多孔材料孔隙結構特性重要的方法之一。廈門多孔陶瓷吸盤廠商陶瓷吸盤的優(yōu)點：防止吸收軌跡。
良好的陶瓷真空吸盤需要具備以下幾點：①潔凈度：避免硅片在加工的過程中被Na+、Al+等雜質(zhì)污染；②通透性強：均勻透氣和透水，保證了硅片的均勻受力和牢固吸附，在磨削過程中不滑動；③結構致密均勻：不易吸附硅粉磨屑，吸盤易于清洗；④強度高：在磨削時無形變，保證硅片在磨削時各點受力均勻，不易產(chǎn)生崩邊、碎片等現(xiàn)象；⑤易于修整：修整時不會出現(xiàn)破裂、碎塊、脫粒等現(xiàn)象；⑥絕緣性高：絕緣性材質(zhì)，消除靜電。陶瓷吸盤的耐用性也是很重要的考慮因素。
多孔陶瓷真空吸盤的孔徑可以制作在小于1微米大到幾百個微米的范圍內(nèi)，通過微小的氣孔把空氣吸出，便加工物緊貼在陶瓷面上，能夠減少吸附面對高精度材料的應力磨損，其穩(wěn)定均勻的吸附力適合固定很薄的加工物，如晶圓片、玻璃和柔性屏等；傳統(tǒng)的孔陶瓷真空吸盤不能根據(jù)吸附物的直徑大小進行更換合適的孔陶瓷真空吸盤，吸附不夠穩(wěn)定，吸附物容易掉落損壞，增加生產(chǎn)成本，因此，本實用新型提出一種多孔陶瓷真空吸盤以解決現(xiàn)有技術中存在的問題。多孔陶瓷真空吸盤通過安裝機構，安裝機構具有更換陶瓷吸盤的功能，使用者可以根據(jù)吸附物的直徑大小進行更換合適的陶瓷吸盤，提高了吸附的穩(wěn)定性，防止吸附物掉落損壞，降低了生產(chǎn)成本。陶瓷吸盤具有優(yōu)異的材料性能，電阻值可以達到105~109Ω/sq。
在進行解鍵合工藝時會用多孔吸盤來吸附100um厚度的半導體晶圓，此項工藝作業(yè)時會將鍵合粘結劑與鍵合wafer上的金屬殘留在多孔吸盤上。殘留的有機粘結劑雜質(zhì)在溫度120℃時處于完全液態(tài)，易被吸附進多孔吸盤的孔洞內(nèi)，而其中無機物金屬顆粒(例如ni-auge合金)通常是附著在多孔吸盤的表層。有機粘結劑在加熱狀態(tài)下液化，受真空吸附力影響會流動到多孔吸盤的孔洞內(nèi)，金屬顆粒會在此加熱狀態(tài)下進行一定程度延展拉伸式的合金化，合金化金屬結合力會增強，從而造成有機粘結劑在多孔吸盤的孔洞內(nèi)和表面存在，合金化金屬覆蓋在有機粘結劑表面并將有機粘結劑進行包裹。如果陶瓷吸盤出現(xiàn)老化時應該及時更換。西安碳化硅多孔陶瓷吸盤現(xiàn)價
陶瓷吸盤其本身材料就是特種陶瓷之一——氧化鋯陶瓷。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
目前，陶瓷吸盤已走進了各個工廠，成為了龍門銑床，磨床不可或缺的一部分，所以在選型上也下了不少功夫。那么正常使用時又要注意哪些事項呢？陶瓷吸盤出廠后，一般有60小時左右的磨合期，這是制造工廠根據(jù)陶瓷吸盤使用初期的技術特點而劃定的。磨合期主要是保證陶瓷吸盤正常運轉(zhuǎn)，降低故障率，延長使用壽命的重要環(huán)節(jié)。但由于部分用戶因缺乏這方面的常識或是工期緊，在機器的磨合期內(nèi)就超長時間，超長負荷的使用，忽視了新機器的磨合期的特殊技術要求，導致機器早期故障頻繁發(fā)生。對陶瓷吸盤的磨合期的使用與保養(yǎng)要充分的重視。西安晶圓陶瓷吸盤供貨商
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