我國的功率半導(dǎo)體技術(shù)包括芯片設(shè)計、制造和模塊封裝技術(shù)目前都還處于起步階段。功率半導(dǎo)體芯片技術(shù)研究一般采取“設(shè)計+代工”模式,即由設(shè)計公司提出芯片設(shè)計方案,由國內(nèi)的一些集成電路公司代工生產(chǎn)。由于這些集成電路公司大多沒有**的功率器件生產(chǎn)線,只能利用現(xiàn)有的集成電路生產(chǎn)工藝完成芯片加工,所以設(shè)計生產(chǎn)的基本是一些低壓芯片。與普通IC芯片相比,大功率器件有許多特有的技術(shù)難題,如芯片的減薄工藝,背面工藝等。解決這些難題不僅需要成熟的工藝技術(shù),更需要先進的工藝設(shè)備,這些都是我國功率半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展過程中急需解決的問題。從80年代初到現(xiàn)在IGBT芯片體內(nèi)結(jié)構(gòu)設(shè)計有非穿通型(NPT)、穿通型(PT)和弱穿通型(LPT)等類型,在改善IGBT的開關(guān)性能和通態(tài)壓降等性能上做了大量工作。但是把上述設(shè)計在工藝上實現(xiàn)卻有相當(dāng)大的難度。尤其是薄片工藝和背面工藝。工藝上正面的絕緣鈍化,背面的減薄國內(nèi)的做的都不是很好。低溫藥芯錫絲薄片工藝,特定耐壓指標的IGBT器件,芯片厚度也是特定的,需要減薄到200-100um,甚至到80um,現(xiàn)在國內(nèi)可以將晶圓減薄到175um,再低就沒有能力了。比如在100~200um的量級,當(dāng)硅片磨薄到如此地步后,后續(xù)的加工處理就比較困難了。廣泛應(yīng)用于伺服電機、變頻器、變頻家電等領(lǐng)域。模塊歡迎選購
通過電阻和igbt模塊導(dǎo)通壓降vce-sat的分壓原理:,不檢測故障,vce-sat檢測被禁止,該狀態(tài)下不檢測vce,原因是igbt***狀態(tài)vce電壓為關(guān)斷電壓;下管vce-sat檢測電路由r15,d12,r16構(gòu)成vce-sat采樣電路:當(dāng)驅(qū)動信號drv_l為高電平(15v)時,通過電阻和igbt模塊導(dǎo)通壓降vce-sat的分壓原理:,采樣信號vce_h,r6和r7構(gòu)成分壓電路(通過r6和r7設(shè)定保護值),比較信號comp_h,通過vce_h與comp_h的比較實現(xiàn)vce飽和壓降的檢測,并輸出故障信號fault_h:當(dāng)vce_h小于comp_h,fault_h為高電平,正常狀態(tài);當(dāng)vce_h大于comp_h,fault_h為低電平,報故障狀態(tài);當(dāng)驅(qū)動信號drv_h為低電平(-15v)時,通過電阻和igbt模塊導(dǎo)通壓降vce-sat的分壓原理:,不檢測故障,vce-sat檢測被禁止,該狀態(tài)下不檢測vce,原因是igbt***狀態(tài)vce電壓為關(guān)斷電壓;當(dāng)fault_h為低電平時,光耦u1_out輸出高電平,經(jīng)過d5和v5后故障信號fault_p為低電平,對驅(qū)動信號進行***。下管vce-sat檢測電路由r15,d12,r16構(gòu)成vce-sat采樣電路,采樣信號vce_l,r13和r14構(gòu)成分壓電路(通過r13和r14設(shè)定保護值),比較信號comp_l,通過vce_l與comp_l的比較實現(xiàn)vce-sat的檢測,并輸出故障信號fault_l,當(dāng)fault_l為低電平時。上海國產(chǎn)模塊進貨價新能源汽車上用的IGBT模塊,客戶要求CTI值大于250V左右.
人就會發(fā)生危險...發(fā)表于2018-03-2909:24?151次閱讀怎么用labview讀取IT8813電壓和電流發(fā)表于2018-03-2717:06?178次閱讀高低電平隨機數(shù)控制電壓選擇模塊發(fā)表于2018-03-2713:22?162次閱讀matlab模擬的時候怎樣才能讓電壓緩慢關(guān)斷?發(fā)表于2018-03-2712:18?195次閱讀回收WT333功率計發(fā)表于2018-03-2710:57?46次閱讀回收WT332功率計發(fā)表于2018-03-2710:43?27次閱讀二手WT2030功率分析儀發(fā)表于2018-03-2710:27?47次閱讀本人電源方面的新手,有一道題困惑了好幾天,求解答。。發(fā)表于2018-03-2709:50?342次閱讀回收NRP2功率計發(fā)表于2018-03-2709:32?36次閱讀數(shù)碼管顯示電壓電路圖大全(六款數(shù)碼管顯示電壓電路...本文主要介紹了數(shù)碼管顯示電壓電路圖大全(六款數(shù)碼管顯示電壓電路原理圖詳解)。測得的電壓轉(zhuǎn)換成數(shù)字相當(dāng)...發(fā)表于2018-03-2613:53?302次閱讀回收安捷倫U8487A功率傳感器發(fā)表于2018-03-2610:31?88次閱讀回收安捷倫U8488A功率傳感器發(fā)表于2018-03-2610:30?106次閱讀何為有效值?何為均方根?從定義出發(fā)計算有效值,即,交流電與直流電分別通過同一電阻,若兩者在相同的時間內(nèi)所消耗的電能相等。
該第二氧化層22的厚度為3000-5000a(如圖5c所示),根據(jù)應(yīng)用端對器件的開關(guān)特性需求,可以對第二氧化層22的厚度進行調(diào)節(jié);s102:沉積光刻膠3(如圖5d所示);s104:去除溝道區(qū)的光刻膠3,保留非溝道區(qū)的光刻膠3,從而保護溝槽內(nèi)非溝道區(qū)的第二氧化層22不被蝕刻;s105:對第二氧化層22進行蝕刻(如圖5f所示),然后去除溝槽內(nèi)非溝道區(qū)保留的光刻膠3(如圖5g所示);s106:在溝槽內(nèi)沉積***氧化層21(如圖5h所示);s107:沉積多晶硅層(如圖5i所示),然后去除表面多余多晶硅層(如圖5j所示)。需要說明的是,本實施例提供的制作方法形成兩種厚度氧化層2沒有新增光刻流程,從而節(jié)省了光罩制作成本。綜上,本實施例提供的溝槽柵igbt及其制作方法可以降低現(xiàn)有技術(shù)中結(jié)構(gòu)的結(jié)電容大小、提高了器件的開關(guān)特性,從而使得本實用新型可以應(yīng)用于高頻場景。盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實用新型的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本實用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。普通PPS的CTI值大約在150V左右,遠遠滿足不了要求,我們研發(fā)團隊通過特殊配方對PPS材料進行改性.
更好的電氣性能新的機械設(shè)計也改善了電氣性能。事實上,***降低的熱阻允許更高的輸出電流。得益于角形柵極可控硅的使用,新的芯片具有更大的有效表面積,可以流過更多的電流。由于這些變化,在與當(dāng)前模塊具有同樣有效芯片面積的情況***過芯片的輸出電流大約多了10%以上。衡量可控硅模塊可靠性的另一個重要參數(shù)是浪涌電流。該值顯示了二極管/可控硅的穩(wěn)健性,指的是故障條件下二極管/可控硅能夠經(jīng)受的住而無損傷的單一正弦半波通態(tài)電流脈沖,該脈沖持續(xù)10或(50或60Hz),這種情況在二極管/可控硅的使用壽命期間應(yīng)該發(fā)生的很少[4]。認證所有賽米控的模塊都要經(jīng)歷質(zhì)量審批測試程序。測試的目的是在各種不同的測試條件下確定設(shè)計的極限,以評價生產(chǎn)過程的一致性,并對提出的工藝和設(shè)計的改變對可靠性的影響進行評估。為此,定義了標準測試和條件。測試本身主要集中于芯片和封裝[5]。所有產(chǎn)品都經(jīng)**批準認可,如UL(UnderwritersLaboratories保險商實驗室)。應(yīng)用領(lǐng)域SEMIPACK產(chǎn)品可被用作為整流直流電源、交流電機控制和驅(qū)動的軟起動器,或者用在電池充電器及焊接設(shè)備中。結(jié)論多虧了第六代SEMIPACK中新的層概念,模塊更加可靠。不用說,更低的熱阻,改善了的電氣性能??梢钥刂齐娏骱碗妷海梢蕴峁└咝У碾娏刂?。安徽大規(guī)模模塊批發(fā)價
IGBT模塊的主要功能是控制電流和電壓,以及提供高效的電力控制。它可以用于控制電機、變頻器、變壓器。模塊歡迎選購
所述***氧化層厚度為1000-1200a。進一步地,所述第二氧化層厚度為3000-5000a。進一步地,兩個所述溝槽柵結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有***摻雜區(qū),所述***摻雜區(qū)的摻雜類型與所述半導(dǎo)體襯底的類型相反。進一步地,在所述***摻雜區(qū)的內(nèi)表面設(shè)置兩個第二摻雜區(qū),所述第二摻雜區(qū)的摻雜類型與***摻雜區(qū)的摻雜類型相反,兩個所述第二摻雜區(qū)分別設(shè)置在靠近兩個所述溝槽柵結(jié)構(gòu)的一側(cè),所述***摻雜區(qū)和所述第二摻雜區(qū)與發(fā)射極金屬接觸。進一步地,所述半導(dǎo)體的底部還設(shè)置有緩沖層和集電極,所述集電極設(shè)置在比較低層。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果:本實用新型提供的溝槽柵igbt通過在溝槽內(nèi)設(shè)置兩種厚度氧化層,兩種厚度氧化層分別為***氧化層和第二氧化層,該第二氧化層厚度大于***氧化層厚度,因為結(jié)電容與氧化層的厚度成反比,因此增加氧化層的厚度會降低器件的結(jié)電容大小,從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt結(jié)電容大的問題,從而提高了本實用新型的開關(guān)特性,使得本實用新型可應(yīng)用于高頻場景。附圖說明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中平面柵igbt的示意圖;圖2為現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt的示意圖;圖3為現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法的流程圖;圖4為本實用新型實施例提供的溝槽柵igbt的示意圖。模塊歡迎選購
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