本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，具體涉及一種溝槽柵igbt。背景技術(shù)：igbt隨著結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和工藝技術(shù)的升級(jí)，主流產(chǎn)品已經(jīng)從平面柵極(如圖1所示)升級(jí)成溝槽柵極(如圖2所示)，現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵結(jié)構(gòu)的制作方法如圖3所示，先在半導(dǎo)體襯底上光刻出溝槽，接著在該溝槽內(nèi)沉積**氧化層23(圖3a所示)，然后去除該**氧化層23(圖3b所示)，然后繼續(xù)在溝槽內(nèi)沉積***氧化層21(圖3c所示)，接著沉積多晶硅層1(圖3d所示)，接著去除表面多余的多晶硅層1(圖3e所示)，溝槽柵結(jié)構(gòu)雖然相比平面柵結(jié)構(gòu)電流密度大幅度提升，但由于溝槽柵結(jié)構(gòu)帶來的結(jié)電容的大幅度上升，造成目前的溝槽柵igbt不能廣泛應(yīng)用于高頻場景。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt結(jié)電容較大的問題，提供了一種新的溝槽柵igbt結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：一種溝槽柵igbt，包括：半導(dǎo)體襯底，所述半導(dǎo)體襯底表面內(nèi)設(shè)置兩個(gè)溝槽柵結(jié)構(gòu)；兩個(gè)溝槽柵結(jié)構(gòu)，兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)對(duì)稱，溝槽內(nèi)設(shè)置有多晶硅層和包圍所述多晶硅層的氧化層，所述氧化層包括***氧化層和第二氧化層，所述***氧化層設(shè)置在溝道區(qū)，所述第二氧化層設(shè)置在非溝道區(qū)，所述第二氧化層的厚度大于所述***氧化層的厚度。進(jìn)一步地。IGBT功率模塊是電壓型控制，輸入阻抗大，驅(qū)動(dòng)功率小，控制電路簡單，開關(guān)損耗小，通斷速度快。黑龍江模塊品牌
脈沖的幅值與柵驅(qū)動(dòng)電路阻抗和dV/dt的實(shí)際數(shù)值有直接關(guān)系。IGBT本身的設(shè)計(jì)對(duì)減小C和C的比例非常重要，它可因此減小dV/dt感生電壓幅值。如果dV/dt感生電壓峰值超過IGBT的閥值，Q1產(chǎn)生集電極電流并產(chǎn)生很大的損耗，因?yàn)榇藭r(shí)集電極到發(fā)射極的電壓很高。為了減小dV/dt感生電流和防止器件開通，可采取以下措施：關(guān)斷時(shí)采用柵極負(fù)偏置，可防止電壓峰值超過V，但問題是驅(qū)動(dòng)電路會(huì)更復(fù)雜。減小IGBT的CGC寄生電容和多晶硅電阻Rg’。減小本征JFET的影響圖3給出了為反向偏置關(guān)斷而設(shè)計(jì)的典型IGBT電容曲線。CRES曲線（及其他曲線）表明一個(gè)特性，電容一直保持在較高水平，直到V接近15V，然后才下降到較低值。如果減小或消除這種“高原”(plateau)特性，C的實(shí)際值就可以進(jìn)一步減小。這種現(xiàn)象是由IGBT內(nèi)部的本征JFET引起的。如果JFET的影響可以**小化，C和C可隨著VCE的提高而很快下降。這可能減小實(shí)際的CRES，即減小dV/dt感生開通對(duì)IGBT的影響。圖3需負(fù)偏置關(guān)斷的典型IGBT的寄生電容與V的關(guān)系。IRGP30B120KD-E是一個(gè)備較小C和經(jīng)改良JFET的典型IGBT。這是一個(gè)1200V，30ANPTIGBT。它是一個(gè)Co-Pack器件，與一個(gè)反并聯(lián)超快軟恢復(fù)二極管共同配置于TO-247封裝。設(shè)計(jì)人員可減小多晶體柵極寬度。黑龍江本地模塊雖然IGBT聽著**，但基本上用電的地方都有IGBT的身影。
由于西門康IGBT模塊供應(yīng)為MOSFET結(jié)構(gòu)，IGBT的柵極通過一層氧化膜與發(fā)射極實(shí)現(xiàn)電隔離。由于此氧化膜很薄，其擊穿電一般達(dá)到20～30V。因此因靜電而導(dǎo)致柵極擊穿是IGBT失效的常見原因之一。因此使用中要注意以下幾點(diǎn)：1、在使用模塊時(shí)，盡量不要用手觸摸驅(qū)動(dòng)端子部分，當(dāng)必須要觸摸西門康IGBT模塊供應(yīng)端子時(shí)，要先將人體或衣服上的靜電用大電阻接地進(jìn)行放電后，再觸摸；2、在用導(dǎo)電材料連接模塊驅(qū)動(dòng)端子時(shí)，在配線未接好之前請(qǐng)先不要接上模塊；3、盡量在底板良好接地的情況下操作。在應(yīng)用中有時(shí)雖然保證了柵極驅(qū)動(dòng)電壓沒有超過柵極大額定電壓，但柵極連線的寄生電感和柵極與集電極間的電容耦合，也會(huì)產(chǎn)生使氧化層損壞的振蕩電壓。為此，通常采用雙絞線來傳送驅(qū)動(dòng)信號(hào)，以減少寄生電感。在柵極連線中串聯(lián)小電阻也可以抑制振蕩電壓。此外，在柵極—發(fā)射極間開路時(shí)，若在集電極與發(fā)射極間加上電壓，則隨著集電極電位的變化，由于集電極有漏電流流過，柵極電位升高，集電極則有電流流過。這時(shí)，如果集電極與發(fā)射極間存在高電壓，則有可能使西門康IGBT模塊供應(yīng)發(fā)熱及至損壞。在使用西門康IGBT模塊供應(yīng)的場合，當(dāng)柵極回路不正?；驏艠O回路損壞時(shí)(柵極處于開路狀態(tài))。
大中小燒IGBT或保險(xiǎn)絲的維修程序2010-03-28流水淙淙展開全文一、電路板燒IGBT或保險(xiǎn)絲的維修程序電流保險(xiǎn)絲或IGBT燒壞，不能馬上換上該零件，必須確認(rèn)下列其它零件是在正常狀態(tài)時(shí)才能進(jìn)行更換，否則，IGBT和保險(xiǎn)絲又會(huì)燒壞。1．目視電流保險(xiǎn)絲是否燒斷2．檢測IGBT是否...一、電路板燒IGBT或保險(xiǎn)絲的維修程序保險(xiǎn)絲或IGBT燒壞，不能馬上換上該零件，必須確認(rèn)下列其它零件是在正常狀態(tài)時(shí)才能進(jìn)行更換，否則，IGBT和保險(xiǎn)絲又會(huì)燒壞。這樣付出的代價(jià)就大了。1．檢查保險(xiǎn)絲是否燒斷2．檢測IGBT是否擊穿：用萬用表二極管檔測量IGBT的“E”；“C”；“G”三極間是否擊穿短路。A：“E”極與“G”極；“C”極與“G”極，正反測試均不導(dǎo)通(正常)。B：萬用表紅筆接”E“極，黑筆接“C”極有電壓降（型號(hào)為GT40T101三極全不通）。3．測量互感器是否斷腳，正常狀態(tài)如下：用萬用表電阻檔測量互感器次級(jí)電阻約80Ω；初極為0Ω。4．整流橋是否正常（用萬用表二極管檔測試）：A：數(shù)字萬用表紅筆接“-”，黑筆接“+”有，調(diào)反無顯示。B：萬用表紅筆接“-”，黑筆分別接兩個(gè)輸入端均有，調(diào)反無顯示。C：萬用表黑筆接“+”，紅筆分別接兩個(gè)輸入端均有，調(diào)反無顯示。5．檢查電容C301；C302；C303。IGBT模塊是由不同的材料層構(gòu)成，如金屬，陶瓷以及高分子聚合物以及填充在模塊內(nèi)部用來改善熱性能的硅膠。
從而使得本實(shí)施例可應(yīng)用與高頻場景。本說明書中的“半導(dǎo)體襯底表面內(nèi)”是指由半導(dǎo)體襯底表面向下延伸的一定深度的區(qū)域，該區(qū)域?qū)儆诎雽?dǎo)體襯底的一部分。其中，半導(dǎo)體襯底可以包括半導(dǎo)體元素，例如單晶、多晶或非晶結(jié)構(gòu)的硅或硅鍺，也可以包括混合的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)，例如碳化硅、合金半導(dǎo)體或其組合，在此不做限定。在本實(shí)施例中的半導(dǎo)體襯底推薦采用硅襯底，在本實(shí)施例中以n型襯底為例進(jìn)行說明。推薦地，***氧化層21厚度為1000-1200a。推薦地，第二氧化層22厚度為3000-5000a。進(jìn)一步地，兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有***摻雜區(qū)，所述***摻雜區(qū)的摻雜類型與所述半導(dǎo)體襯底的類型相反，***摻雜區(qū)為pw導(dǎo)電層。進(jìn)一步地，在所述***摻雜區(qū)的內(nèi)表面設(shè)置兩個(gè)第二摻雜區(qū)，所述第二摻雜區(qū)的摻雜類型與***摻雜區(qū)的摻雜類型相反，兩個(gè)所述第二摻雜區(qū)分別設(shè)置在靠近兩個(gè)所述溝槽柵結(jié)構(gòu)的一側(cè)并且與溝槽柵結(jié)構(gòu)接觸,第二摻雜區(qū)為n+源區(qū)，pw導(dǎo)電層和n+源區(qū)與發(fā)射極金屬接觸。進(jìn)一步地，所述半導(dǎo)體的底部還設(shè)置有緩沖層和集電極，所述集電極設(shè)置在比較低層。圖5示出了本實(shí)施例提供的一種溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法，與現(xiàn)有技術(shù)的制作基本相同，區(qū)別在于以下：s101：在溝槽內(nèi)沉積第二氧化層22。問世迄今有十年多歷史，幾乎已替代一切其它功率器件，例SCR、GTO、GTR、MOSFET、雙極型達(dá)林頓管等。新疆節(jié)能模塊
具有良好化學(xué)結(jié)晶度的特種熱塑性工程塑料，綜合性能優(yōu)異，可作為IGBT模塊的質(zhì)量材料之選。黑龍江模塊品牌
為進(jìn)一步推動(dòng)我國IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器的產(chǎn)業(yè)發(fā)展，促進(jìn)新型IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器的技術(shù)進(jìn)步與應(yīng)用水平提高，在 5G 商用爆發(fā)前夕，2019 中國 5G IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器重點(diǎn)展示關(guān)鍵元器件及設(shè)備，旨在助力IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器行業(yè)把握發(fā)展機(jī)遇，實(shí)現(xiàn)跨越發(fā)展。中國IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器行業(yè)協(xié)會(huì)秘書長古群表示 5G 時(shí)代下IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器產(chǎn)業(yè)面臨的機(jī)遇與挑戰(zhàn)。認(rèn)為，在當(dāng)前不穩(wěn)定的國際貿(mào)易關(guān)系局勢下，通過 2018—2019 年中國電子元件行業(yè)發(fā)展情況可以看到，被美國加征關(guān)稅的IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器產(chǎn)品的出口額占電子元件出口總額的比重只有 10％?；仡欉^去一年國內(nèi)IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器產(chǎn)業(yè)運(yùn)行情況，上半年市場低迷、部分外資企業(yè)產(chǎn)線轉(zhuǎn)移、中小企業(yè)經(jīng)營困難，開工不足等都是顯而易見的消極影響。但隨著IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器產(chǎn)業(yè)受到相關(guān)部門高度重視、下游企業(yè)與元器件產(chǎn)業(yè)的黏性增強(qiáng)、下游 5G 在產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景明朗等利好因素的驅(qū)使下，我國電子元器件行業(yè)下半年形勢逐漸好轉(zhuǎn)。目前汽車行業(yè)、醫(yī)治、航空、通信等領(lǐng)域無一不刺激著電子元器件。就拿近期的熱門話題“5G”來說，新的領(lǐng)域需要新的技術(shù)填充?！?G”所需要的元器件開發(fā)有限責(zé)任公司（自然）要求相信也是會(huì)更高，制造工藝更難。黑龍江模塊品牌
江蘇芯鉆時(shí)代電子科技有限公司總部位于昆山開發(fā)區(qū)朝陽東路109號(hào)億豐機(jī)電城北樓A201，是一家一般項(xiàng)目：技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)咨詢、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣；電子元器件批發(fā)；電子元器件零售；電子元器件與機(jī)電組件設(shè)備銷售；電力電子元器件銷售；電子設(shè)備銷售；電子測量儀器銷售；機(jī)械電氣設(shè)備銷售；風(fēng)動(dòng)和電動(dòng)工具銷售；電氣設(shè)備銷售；光電子器件銷售；集成電路芯片及產(chǎn)品銷售；半導(dǎo)體照明器件銷售；半導(dǎo)體器件設(shè)備銷售；半導(dǎo)體分立器件銷售；集成電路銷售；五金產(chǎn)品批發(fā)；五金產(chǎn)品零售；模具銷售；電器輔件銷售；電力設(shè)施器材銷售；電工儀器儀表銷售；電工器材銷售；儀器儀表銷售；辦公設(shè)備銷售；辦公設(shè)備耗材銷售；辦公用品銷售；日用百貨銷售；機(jī)械設(shè)備銷售；超導(dǎo)材料銷售；密封用填料銷售；密封件銷售；高性能密封材料銷售；橡膠制品銷售；塑料制品銷售；文具用品批發(fā)；文具用品零售；金屬材料銷售；金屬制品銷售；金屬工具銷售；環(huán)境保護(hù)設(shè)備銷售；生態(tài)環(huán)境材料銷售；集成電路設(shè)計(jì)；集成電路芯片設(shè)計(jì)及服務(wù)（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動(dòng)）的公司。江蘇芯鉆時(shí)代作為電子元器件的企業(yè)之一，為客戶提供良好的IGBT模塊，可控硅晶閘管，二極管模塊，熔斷器。江蘇芯鉆時(shí)代繼續(xù)堅(jiān)定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路，既要實(shí)現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。江蘇芯鉆時(shí)代始終關(guān)注自身，在風(fēng)云變化的時(shí)代，對(duì)自身的建設(shè)毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使江蘇芯鉆時(shí)代在行業(yè)的從容而自信。