特別是對于8寸以上的大硅片,極易破碎,難度更大。背面工藝,包括了背面離子注入,退火***,背面金屬化等工藝步驟,由于正面金屬的熔點的限制,這些背面工藝必須在低溫下進行(不超過450°C),退火***這一步難度極大。背面注入以及退火,此工藝并不像想象的那么簡單。國外某些公司可代加工,但是他們一旦與客戶簽訂協(xié)議,就不再給中國客戶代提供加工服務(wù)。在模塊封裝技術(shù)方面,國內(nèi)基本掌握了傳統(tǒng)的焊接式封裝技術(shù),其中中低壓模塊封裝廠家較多,高壓模塊封裝主要集中在南車與北車兩家公司。與國外公司相比,技術(shù)上的差距依然存在。國外公司基于傳統(tǒng)封裝技術(shù)相繼研發(fā)出多種先進封裝技術(shù),能夠大幅提高模塊的功率密度、散熱性能與長期可靠性,并初步實現(xiàn)了商業(yè)應(yīng)用。**工藝開發(fā)人員非常缺乏,現(xiàn)有研發(fā)人員的設(shè)計水平有待提高。目前國內(nèi)沒有系統(tǒng)掌握IGBT制造工藝的人才。從國外先進功率器件公司引進是捷徑。但單單引進一個人很難掌握IGBT制造的全流程,而要引進一個團隊難度太大。國外IGBT制造中許多技術(shù)是有**保護。目前如果要從國外購買IGBT設(shè)計和制造技術(shù),還牽涉到好多**方面的東西。當(dāng)前市場上銷售的多為此類模塊化產(chǎn)品,一般所說的IGBT也指IGBT模塊。湖南模塊報價
從而使得本實施例可應(yīng)用與高頻場景。本說明書中的“半導(dǎo)體襯底表面內(nèi)”是指由半導(dǎo)體襯底表面向下延伸的一定深度的區(qū)域,該區(qū)域?qū)儆诎雽?dǎo)體襯底的一部分。其中,半導(dǎo)體襯底可以包括半導(dǎo)體元素,例如單晶、多晶或非晶結(jié)構(gòu)的硅或硅鍺,也可以包括混合的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu),例如碳化硅、合金半導(dǎo)體或其組合,在此不做限定。在本實施例中的半導(dǎo)體襯底推薦采用硅襯底,在本實施例中以n型襯底為例進行說明。推薦地,***氧化層21厚度為1000-1200a。推薦地,第二氧化層22厚度為3000-5000a。進一步地,兩個所述溝槽柵結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有***摻雜區(qū),所述***摻雜區(qū)的摻雜類型與所述半導(dǎo)體襯底的類型相反,***摻雜區(qū)為pw導(dǎo)電層。進一步地,在所述***摻雜區(qū)的內(nèi)表面設(shè)置兩個第二摻雜區(qū),所述第二摻雜區(qū)的摻雜類型與***摻雜區(qū)的摻雜類型相反,兩個所述第二摻雜區(qū)分別設(shè)置在靠近兩個所述溝槽柵結(jié)構(gòu)的一側(cè)并且與溝槽柵結(jié)構(gòu)接觸,第二摻雜區(qū)為n+源區(qū),pw導(dǎo)電層和n+源區(qū)與發(fā)射極金屬接觸。進一步地,所述半導(dǎo)體的底部還設(shè)置有緩沖層和集電極,所述集電極設(shè)置在比較低層。圖5示出了本實施例提供的一種溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法,與現(xiàn)有技術(shù)的制作基本相同,區(qū)別在于以下:s101:在溝槽內(nèi)沉積第二氧化層22。浙江品質(zhì)模塊市價新能源汽車上用的IGBT模塊,客戶要求CTI值大于250V左右.
pwm_l信號為低電平時,c2通過r2充電,r2,c2構(gòu)成死區(qū)延時td。當(dāng)pwm_h信號為高電平時,c3通過d3快速放電,pwm_l信號為低電平時,c3通過r3充電,r3,c3構(gòu)成死區(qū)延時td。其中v1輸入采用cmos施密特與非門,可以提高輸入信號門檻電壓,提高信號抗干擾能力。上管驅(qū)動電路由r11,q3,q4,r8構(gòu)成推挽放大電路,對光耦輸出信號u2_out信號進行放大,上管驅(qū)動信號drv_h直接連接igbt模塊上管門極hg,滿足igbt模塊對于驅(qū)動峰值電流的需求。下管驅(qū)動電路由r17,q5,q6,r18構(gòu)成推挽放大電路,對光耦輸出信號u4_out信號進行放大,下管驅(qū)動信號drv_l直接連接igbt模塊下管門極lg,滿足igbt模塊對于驅(qū)動峰值電流的需求。上管vce-sat檢測電路由r9,d11,r10構(gòu)成vce-sat采樣電路:當(dāng)驅(qū)動信號drv_h為高電平(15v)時,通過電阻和igbt模塊導(dǎo)通壓降vce-sat的分壓原理:,采樣信號vce_h,r13和r14構(gòu)成分壓電路(通過r13和r14設(shè)定保護值),比較信號comp_h,通過vce_h與comp_h的比較實現(xiàn)vce飽和壓降的檢測,并輸出故障信號fault_h:當(dāng)vce_h小于comp_h,fault_h為高電平,正常狀態(tài);當(dāng)vce_h大于comp_h,fault_h為低電平,報故障狀態(tài);當(dāng)驅(qū)動信號drv_l為低電平(-15v)時。
所述***氧化層厚度為1000-1200a。進一步地,所述第二氧化層厚度為3000-5000a。進一步地,兩個所述溝槽柵結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有***摻雜區(qū),所述***摻雜區(qū)的摻雜類型與所述半導(dǎo)體襯底的類型相反。進一步地,在所述***摻雜區(qū)的內(nèi)表面設(shè)置兩個第二摻雜區(qū),所述第二摻雜區(qū)的摻雜類型與***摻雜區(qū)的摻雜類型相反,兩個所述第二摻雜區(qū)分別設(shè)置在靠近兩個所述溝槽柵結(jié)構(gòu)的一側(cè),所述***摻雜區(qū)和所述第二摻雜區(qū)與發(fā)射極金屬接觸。進一步地,所述半導(dǎo)體的底部還設(shè)置有緩沖層和集電極,所述集電極設(shè)置在比較低層。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型的有益效果:本實用新型提供的溝槽柵igbt通過在溝槽內(nèi)設(shè)置兩種厚度氧化層,兩種厚度氧化層分別為***氧化層和第二氧化層,該第二氧化層厚度大于***氧化層厚度,因為結(jié)電容與氧化層的厚度成反比,因此增加氧化層的厚度會降低器件的結(jié)電容大小,從而解決了現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt結(jié)電容大的問題,從而提高了本實用新型的開關(guān)特性,使得本實用新型可應(yīng)用于高頻場景。附圖說明圖1為現(xiàn)有技術(shù)中平面柵igbt的示意圖;圖2為現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵igbt的示意圖;圖3為現(xiàn)有技術(shù)中溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法的流程圖;圖4為本實用新型實施例提供的溝槽柵igbt的示意圖。普通PPS的CTI值大約在150V左右,遠遠滿足不了要求,我們研發(fā)團隊通過特殊配方對PPS材料進行改性.
發(fā)表于2018-01-0215:42?665次閱讀國產(chǎn)大功率IGBT驅(qū)動技術(shù)研究報告發(fā)表于2018-01-0215:00?327次閱讀純電感電路中電壓與電流的關(guān)系解析本文主要介紹了電感的概念與電感器的結(jié)構(gòu),其次詳細的說明了在純電感電路中電壓與電流間的數(shù)量關(guān)系以及在交...發(fā)表于2017-12-2616:52?1515次閱讀電壓220v與380v的區(qū)別220V和380V的電壓有什么區(qū)別?本文為大家?guī)砭唧w介紹。發(fā)表于2017-12-2310:18?469次閱讀國家電網(wǎng)充電樁怎么用?國家電網(wǎng)充電樁功率多少?國家電網(wǎng)充電樁用法使用指南...國家電網(wǎng)充電樁功率交流充電樁一般是16A@220V(...發(fā)表于2017-12-2015:36?2853次閱讀電氣設(shè)備換了腫么辦?看完這文也會維修了直觀法直觀法是根據(jù)電器故障的外部表現(xiàn),通過看、聞、聽等手段,檢查、判斷故障的方法。(1)檢查步驟:...發(fā)表于2017-12-1918:30?762次閱讀三相電總功率計算公式解讀功率因數(shù)是表示耗用有功、無功電流的比值,因為電機是需要有功和無功電流激磁運行的,電機滿載時,耗用有...發(fā)表于2017-12-1609:47?1987次閱讀手機輸出功率檢測反饋控制電路設(shè)計為了保證系統(tǒng)的容量及互操作性。雖然IGBT聽著**,但基本上用電的地方都有IGBT的身影。浙江品質(zhì)模塊市價
其主要功能是實現(xiàn)能源的轉(zhuǎn)換和控制,從而提高電力設(shè)備的效率和可靠性。湖南模塊報價
以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。為實現(xiàn)上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:風(fēng)電變流器的igbt驅(qū)動電路,包括原邊電路、隔離電路和副邊電路,所述原邊電路包括死區(qū)電路、互鎖電路、保護電路、15v電源輸入濾波電路和dc/dc電路,所述隔離電路包括變壓器隔離電路和光耦隔離電路,所述副邊電路包括±15v驅(qū)動電源、驅(qū)動電路和vce-sat檢測電路,vce-sat檢測電路分別連接igbt模塊、驅(qū)動電路和光耦隔離電路,光耦隔離電路還連接死區(qū)電路、互鎖電路和保護電路,驅(qū)動電路還分別連接光耦隔離電路和igbt模塊,vce-sat檢測電路檢測到igbt模塊發(fā)生短路故障或過流故障時,通過光耦隔離電路傳遞故障信號給原邊電路,原邊電路同時***igbt模塊上下管驅(qū)動信號,并通過光耦隔離電路和驅(qū)動電路關(guān)斷igbt模塊。作為本實用新型的進一步方案:所述igbt模塊分為上下兩路。作為本實用新型的進一步方案:所述死區(qū)電路、互鎖電路、保護電路均分為上下兩路。作為本實用新型的進一步方案:所述光耦隔離電路分為上下兩路。作為本實用新型的進一步方案:所述驅(qū)動電路分為上下兩路。作為本實用新型的進一步方案:所述光耦隔離電路包括反饋光耦和驅(qū)動光耦。湖南模塊報價
江蘇芯鉆時代電子科技有限公司是一家從事IGBT模塊,可控硅晶閘管,二極管模塊,熔斷器研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及售后的貿(mào)易型企業(yè)。公司坐落在昆山開發(fā)區(qū)朝陽東路109號億豐機電城北樓A201,成立于2022-03-29。公司通過創(chuàng)新型可持續(xù)發(fā)展為重心理念,以客戶滿意為重要標(biāo)準(zhǔn)。在孜孜不倦的奮斗下,公司產(chǎn)品業(yè)務(wù)越來越廣。目前主要經(jīng)營有IGBT模塊,可控硅晶閘管,二極管模塊,熔斷器等產(chǎn)品,并多次以電子元器件行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)、客戶需求定制多款多元化的產(chǎn)品。江蘇芯鉆時代電子科技有限公司每年將部分收入投入到IGBT模塊,可控硅晶閘管,二極管模塊,熔斷器產(chǎn)品開發(fā)工作中,也為公司的技術(shù)創(chuàng)新和人材培養(yǎng)起到了很好的推動作用。公司在長期的生產(chǎn)運營中形成了一套完善的科技激勵政策,以激勵在技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)品改進等。江蘇芯鉆時代電子科技有限公司以市場為導(dǎo)向,以創(chuàng)新為動力。不斷提升管理水平及IGBT模塊,可控硅晶閘管,二極管模塊,熔斷器產(chǎn)品質(zhì)量。本公司以良好的商品品質(zhì)、誠信的經(jīng)營理念期待您的到來!