1.利用DLC來制備晶體硅表面的減反射膜,用于提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)化效率。使用磁控濺射沉積設(shè)備在單晶硅基體上制備了系列DLC薄膜,薄膜的折射率和與sp3含量有關(guān),sp3含量越高,折射率越高。改變工藝參數(shù),DLC薄膜的折射率可在1.64~2.18之間變化。DLC薄膜消光系數(shù)與DLC薄膜中sp2相的含量有關(guān)。sp2含量越高,消光系數(shù)越高。甲烷濃度對DLC薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響,隨著甲烷濃度的增加,DLC薄膜的透射率呈現(xiàn)逐漸減少的趨勢。當(dāng)甲烷濃度在5SCCM以下時,薄膜的透光性比較好,在硅基底上添加多層DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段減反射效果。在玻璃基底上添加DLC薄膜能夠?qū)崿F(xiàn)在可見光區(qū)的多波段增透效果。特別地,作為光學(xué)材料,DLC薄膜具有較寬的禁帶寬度和較低的折射率,且折射率可在一定范圍內(nèi)調(diào)控。溫州納米DLC產(chǎn)品介紹
1.由于含有金剛石成分,DLC具有很多優(yōu)良的特性:高硬度-60GPa或Hv4800以上;低摩擦系數(shù)0.02;極好的膜層致密性;良好的化學(xué)穩(wěn)定性以及良好的光學(xué)性能等。應(yīng)用于模具上的DLC涂層所表現(xiàn)出的特殊性能遠(yuǎn)超過其它硬質(zhì)涂層。涂以DLC的沖壓模具主要應(yīng)用包括:石墨切削,各種有色金屬(如鋁合金,銅合金等)切削,非金屬硬質(zhì)材料(如亞克力,玻璃纖維,PCB材料)切削等。1.類金剛石薄膜(DLC)是1種非晶薄膜,可分為無氫類金剛石碳膜(a-C)和氫化類金剛石碳膜(a-C:H)(圖2)兩類。無氫類金剛石碳膜有a-C膜(主要由sp3和sp2鍵碳原子相互混雜的三維網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成),以及四面體非晶碳(tetrahedralcarbon,簡稱ta-C)(主要由超過80%的sp3鍵碳原子為骨架構(gòu)成);氫化類金剛石碳膜(a-C:H)又可分為類聚合物非晶態(tài)碳(polymer—likecarbon,簡稱PLC)、類金剛石碳、類石墨碳3種,其三維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)中同時還結(jié)合一定數(shù)量的氫。類聚合物非晶態(tài)碳是含氫金剛石薄膜的一種它是非晶體又有類似于聚合物那種通過相同簡單的結(jié)構(gòu)單元通過共價鍵重復(fù)連接而成的化合物。這種類金剛石薄膜因為sp2鍵占據(jù)了主要數(shù)量,所以比較軟,又不具備石墨的特性,使得它的用途受到了限制,在摩擦學(xué)的應(yīng)用上還處在起步階段。溫州納米DLC產(chǎn)品介紹類金剛石涂層作為質(zhì)量硬質(zhì)涂層的材料,在不同領(lǐng)域展現(xiàn)了適合的應(yīng)用前景,國內(nèi)外對它的研究一直是熱點問題。
耐腐蝕性純DLC膜具有優(yōu)異的耐蝕性,各類酸、堿甚至王水都很難侵蝕它。但摻雜有其他元素的DLC膜的耐蝕性有所下降,這是由于摻雜的元素首先被侵蝕,從而破壞了膜的連續(xù)性所致。表面狀態(tài)DLC膜表面一般較光潔,對基材的表面光潔度沒有太大的影響,但隨著膜厚的增加,表面光潔度會下降。不同的沉積方法所得到的DLC膜表面光潔度也是不同的,采用離子源技術(shù)沉積的DLC膜表面質(zhì)量明顯優(yōu)于電弧離子鍍。DLC膜具有很好的抗粘結(jié)性,特別是對有色金屬(如銅、鋁、鋅等),對塑料、橡膠、陶瓷等也有抗粘結(jié)性。?
DLC涂層在汽車發(fā)動機(jī)零件上的應(yīng)用汽車發(fā)動機(jī)中的活塞環(huán)安裝在活塞側(cè)壁的凹槽內(nèi),環(huán)外圓面緊貼在氣缸內(nèi)壁。隨著活塞在氣缸內(nèi)上下往復(fù)運動,環(huán)面不斷地刮擦氣缸內(nèi)壁,產(chǎn)生較大的摩擦功損耗,工況比較惡劣,影響到發(fā)動機(jī)整機(jī)的能耗和使用壽命;含氫DLC涂層(以下簡稱DLC)和無氫DLC涂層(以下簡稱TaC)作為一種新的涂層材料和技術(shù),因為具有更加優(yōu)異的性能得到業(yè)界的比較好的重視。與CrN相比,DLC可以有效減少摩擦,進(jìn)一步降低摩擦功損耗,重要的一點是更加不易拉缸。在以非燃油為燃料的新能源汽車發(fā)動機(jī)中,DLC涂層的活塞環(huán)可以在無潤滑油的干態(tài)摩擦條件下起到良好的潤滑和耐磨減磨的作用,這也是目前解決這類活塞環(huán)壽命和節(jié)能問題的主要手段。DLC涂層適合用于各種鎢鋼刀具、各種鋸片、沖針、各種工具刀具、各種抗磨軸承、齒輪。
DLC涂層的高硬度,防粘連及自潤滑性是有色金屬鉆孔,攻牙,鏡面銑削加工刀具理想的防護(hù)涂層,它在解決粘刀,粘著磨損方面比普通涂層有更出色的表現(xiàn),這涂層刀具的使用壽命是普通刀具的數(shù)倍,加工出來的產(chǎn)品光潔度更高。由于DLC具有極低的摩擦系數(shù)(0.06~0.1)和自潤滑性,涂以DLC的刀具是干切削的比較好選擇。與沒有涂層的刀具相比,在干式切削的條件下DLC涂層刀具的切削力可下降6%;。與其它涂層的刀具相比(如涂以TiN,TiAlN),在干式切削的條件下DLC涂層刀具的切削力可下降23%;同樣也是因為DLC的低摩擦系數(shù)可使金屬切削(鋁合金切削)的切削力大為下降,從而部分降低能源消耗。DLC膜具有很好的抗粘結(jié)性,特別是對有色金屬(如銅、鋁、鋅等),對塑料、橡膠、陶瓷等也有抗粘結(jié)性。常州真空鍍膜DLC加工
DLC抑菌能力并不突出,但可通過摻雜其他元素、改變工藝參數(shù)等措施使其成為較為理想的無機(jī)抑菌薄膜材料。溫州納米DLC產(chǎn)品介紹
分析CrN過渡層與不同膜厚對DLC薄膜性能的影響,及涂層模具的成型特性。方法采用PECVD方法在718合金試樣及模具表面沉積CrN/DLC復(fù)合膜,預(yù)設(shè)CrN過渡層厚度為0.2μm,DLC膜層厚度為0.5~1.2μm。采用無損設(shè)備對不同沉積時間(10、15、20、25、30、35min)的薄膜厚度進(jìn)行表征,并使用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察薄膜表面及截面結(jié)構(gòu)特征。采用拉曼光譜(Raman)分析不同厚度DLC膜的峰位信息以及sp3-C/sp2-C的比例關(guān)系,用納米壓痕儀表征膜層硬度,用硬度計分析膜/基結(jié)合力,用輪廓儀表征薄膜表面特征,并探討膜厚對薄膜性能的影響機(jī)制。結(jié)果薄膜的厚度值在預(yù)設(shè)范圍以內(nèi),該方法制備的薄膜結(jié)構(gòu)致密,表面光滑,無分層、凹坑、液滴粘附等缺陷。隨涂層厚度的增加,薄膜中sp3-C/sp2-C的比例呈先減小后增大的趨勢,G峰也先向D峰靠近,而后遠(yuǎn)離。薄膜硬度同樣隨膜層厚度的增加呈先增加后減小的趨勢,1.06μm厚的CrN/DLC膜的硬度比較高(3600HV)。溫州納米DLC產(chǎn)品介紹